Gebraucht SURFTECH / DAEDALUS Star4 #293608633 zu verkaufen
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ID: 293608633
Ion coating system
Coating technology:
Special coating recipe: AlTiCrN, TiSiN, TiN, CrN
Process chamber:
Type: Stainless steel double walled chamber with shutter
Chamber size: 900 x 850 mm
Usable plasma zone: 600 x 550 mm
Arc source:
Deposition source: (4) Circle cathode targets, 6"
Power supply: (4) Digital DC power supplies
Auto trigger detection system
Pump:
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Turbo molecular pump, 1500 L/s
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Primary pump, 65 m³/h
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Booster pump, 250 m³/h
Vacuum measure:
SUCO Piezo gauge
(2) ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Pirani gauges
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Penning gauge
MKS Baratron Gauge
Gas control:
MKS Mass Flow Controller (MFC), Ar and N2
(2) Heaters, 18 kW:
Measure: (2) Thermocouples
PID Temperature controller
Substrate and carousel:
Carousel: 580 x 600 mm
Loading capacity: 500 kg
BIAS Power supply: Integrated ARC suppression, 15 kW, DC 1000 V, 25 A
Touch panel PC, 17"
Power supply: 380/400 V, 50/60 Hz, 45 kW, 3-Phase.
SURFTECH/DAEDALUS Star4 ist eine Hochleistungs-Photolackausrüstung, die hauptsächlich für die präzise kommerzielle Halbleiterlithographie entwickelt wurde. Photoresists sind lichtempfindliche Materialien, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und -schaltungen verwendet werden. SURFTECH Star4 bietet außergewöhnliche Einheitlichkeit und Prozessstabilität mit einer erstklassigen Auflösung von bis zu 0,1 um. DAEDALUS Star4 verfügt über eine patentierte Quad Light Source™, die ein extrem gleichmäßiges, breites UV-Lichtspektrum für überlegene Prozesskonsistenz emittiert. Dies wird mit fortschrittlicher Optik für überlegene Lichtgleichförmigkeit und höheren Durchsatz kombiniert. Star4 bietet auch eine hochpräzise Waferstufe für genaue, wiederholbare Ausrichtung und Fokus. SURFTECH/DAEDALUS Star4 umfasst umfangreiche Prozesssteuerungs- und Sammelmöglichkeiten. Das System bietet eine Auswahl an Roboter oder manuelle Beladung und eine leistungsfähige Steuerung für die Verwaltung von Rezepten und wiederholbare Prozesse. Integrierte Softwaresysteme bieten Analyse und Datenaufbewahrung, sodass Betreiber Rezepte durch Echtzeitanalysen überprüfen und anpassen können. Optionale motorisierte Optik zur präzisen Fokusregelung beschleunigt zudem die Prozessentwicklung und verbessert die Genauigkeit. SURFTECH Star4 ist auch mit Prozesssteuerungen ausgestattet, die einen hohen Durchsatz und transparenten Zugang zu Gerätesollpunkten bieten. Eingebaute Fehlerinspektionssysteme erkennen aus Spezifikationsprodukt vor der Optimierung und verbessern so den Ertrag. Das Gerät kann problemlos in die bestehenden Produktlinien einer Fabrik integriert werden, was eine schnelle Integration ermöglicht. DAEDALUS Star4 ist einfach zu bedienen, zu warten und zu aktualisieren, mit einer Vielzahl von Optionen für jede Anwendung. Die Maschine bietet auch Diagnoseinformationen über Bildschirm- und Off-Screen-Verfahren sowie eine große Bibliothek mit detaillierten Ressourcen, die für eine Vielzahl von Anwendern geeignet sind. Das Werkzeug wurde entwickelt, um die Lithographie-Standards von SEMI 2000 zu übertreffen. Insgesamt ist Star4 ein hochqualitatives Photoresist-Asset, das robuste Leistung, Prozesskontrolle und wiederholbare Einheitlichkeit bietet. Hervorragende Auflösung, zuverlässige Fehlererkennung und verlängerte Lebensdauer sorgen dafür, dass das Modell für jeden Bedarf an der Halbleiterproduktion geeignet ist.
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