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SVG 8600 series
ID: 84863
multiple track systems.
Die SVG 8600 Serie ist eine Photolackausrüstung, die für das Deep-UV- und Röntgen-Backend der Halbleiter-, MEM- und Verpackungsindustrie entwickelt wurde. Die Plattform ermöglicht es Benutzern, große Flächen mit einer extrem hohen Gleichmäßigkeit und Auflösung zu beschichten. 8600 Serie ist ideal für Prozesse, die einen hohen Durchsatz, Effizienz und Wiederholbarkeit erfordern. Das System liefert eine extrem genaue Beschichtung einer Vielzahl von Photoresists und anderen Flüssigkeiten. Es umfasst einen Hochleistungsregler, eine Temperaturregelung, eine Lüftung und einen einstellbaren Vision-Autofokus und verfügt über ein hohes Maß an Leistung und Produktivität. Die SVG 8600 Serie verfügt über eine leistungsstarke grafische Benutzeroberfläche (GUI), die die Rüstzeit verkürzen und mögliche Fehler im Zusammenhang mit manuellen Steuerelementen reduzieren soll. Es verfügt über einen Touchscreen-LCD-Monitor für einfache Zugänglichkeit und Fehlerbehebung. Das Gerät unterstützt leistungsstarke Ausrichtwerkzeuge für präzise Merkmalserfassung und eine Feinsteuerungsmaschine, die eine präzise Durchflussregelung sowie Motoren mit variabler Drehzahl und einstellbaren Sichtautofokus ermöglicht. 8600 Serie ist entworfen, um eine Vielzahl von Photolackanwendungen zu behandeln, einschließlich geradlinige obere Beschichtung, nanoskalige Füllung und elektrischer Kontakt. Kontaminationskontrolle ist auch verfügbar, um die Auswirkungen von luftgetragenen, partikulären und flüssigen Verunreinigungen zu minimieren. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über eine programmierbare zweidimensionale Bewegungsfähigkeit, die eine hochauflösende Strukturierung komplexer Strukturen ermöglicht. Die SVG 8600 Serie wurde entwickelt, um konsistente, qualitativ hochwertige Ergebnisse mit integrierten Sicherheitsmerkmalen und einem robusten Design zu erzielen, um rauen Chemikalien und hohen Temperaturen standzuhalten. Es ist auch leicht zu reinigen und zu warten, mit Teilen und Materialien, die korrosionsbeständig sind. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine optionale Prozessautomatisierung, um die Ermüdung des Bedieners zu reduzieren und die Genauigkeit zu verbessern. Insgesamt ist die 8600-Serie ein leistungsstarkes und vielseitiges Photolackmodell, das für Backend-Prozesse in der Halbleiter- und MEMS-Industrie entwickelt wurde. Es bietet ein hohes Maß an Genauigkeit und Gleichmäßigkeit, eine intuitive Benutzeroberfläche und Prozessautomatisierung und die Fähigkeit, eine Vielzahl von Photoresist-Anwendungen zu bewältigen. Die fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale und die robuste Konstruktion machen es zu einer idealen Lösung für Deep-UV- und Röntgenprozesse, die einen hohen Durchsatz und Wiederholbarkeit erfordern.
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