Gebraucht SVG 88 Series #9192887 zu verkaufen
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ID: 9192887
Single track coater
Configuration:
Empty space for 2nd track
Send- Coa t-HPO-Receive
System cabinet:
Footprint:
Coat system: 42" Deep X 60" Wide X 38" High (with out CP)
Coat system: 42" Deep X 72" Wide X 38" High (with CP)
System frame:
Internal frame: Standard powder coated black
External panels: Stainless steel
Wafer type: Silicon
Wafer size: 3" Wafer round with flats
Wafer flow: Left to right
Rear of system bulkhead fittings and facility connections for:
Process chemicals: Photoresist, EBR solvents
Process gasses: Clean dry air, nitrogen
Process exhaust
Teflon insulated mainframe wiring
Process chemical dispense lines:
PFA or FEP - Photoresist
SVG Style card cage keypad and display with SVG software control:
Z80 Microprocessor control
(9) Events per program
Times variable from 0. to 99.0 sec. in 0.1 sec
Machine diagnostics: Machine and sensor status
System capable of processing wafers:
Automatic
Single or manual modes
Independent microprocessor control for each track
Automated transfer arm system for module to module wafer transfer
Emergency stop access front of system
Power junction box: 208V, 60Hz, 25A.
SVG 88 Series ist eine Photoresist-Ausrüstung, die verwendet wird, um vorbestimmte Bereiche eines Substrats vor der Exposition gegenüber einem reaktiven Material zu schützen. Es besteht aus einer Lichtquelle, lichtempfindlicher Beschichtung und Maskenplatte. Die Lichtquelle ist typischerweise eine Laser- oder Blitzlampe, während die lichtempfindliche Beschichtung ein lichtempfindliches Polymer ist. Wenn das lichtempfindliche Polymer einer Lichtquelle ausgesetzt wird, reagiert es undurchsichtig und bildet eine undurchsichtige Photolackschicht. Diese Schicht wirkt als Maske, die die Bereiche des Substrats vor dem reaktiven Material abschirmt. Typischerweise ist die Maskenplatte zwischen dem Substrat und der Lichtquelle angeordnet. Ein Muster der zu schützenden Bereiche wird auf die Maskenplatte geätzt, so dass das Licht nur dort zur darunterliegenden lichtempfindlichen Beschichtungsschicht gelangt, wo die Maskenplatte das Muster aufweist. Dadurch wird die lichtempfindliche Beschichtung nur dort dem Licht ausgesetzt, wo die Maskenplatte das Muster aufweist, wodurch die diesen Bereichen zugeordneten Teile der lichtempfindlichen Beschichtung undurchsichtig werden und eine Photoresistschicht bilden. Das System der 88-Serie wurde entwickelt, um eine konsistente, detaillierte und präzise strukturierte Photolackschicht bereitzustellen. Diese Photolackschicht dient dazu, das Substrat selektiv vor Beschädigungen zu schützen, wenn es dem reaktiven Material ausgesetzt ist, wie z.B. einem Ätzmittel oder einer anderen Art von reaktiver Lösung. Dies ermöglicht es dem Techniker, diese Einheit zu verwenden, um bestimmte Bereiche des Substrats zu schützen und eine detaillierte Kontrolle und Genauigkeit für den Herstellungsprozess bereitzustellen. SVG 88 Serie Maschine kann mit verschiedenen Arten von Substraten, wie Metall, Glas, Kunststoff oder Keramik verwendet werden. Es hat sich auch bei der Herstellung von integrierten Schaltungen, Nanotechnologiegeräten und anderen hochmodernen Materialien und Verfahren bewährt. Je nach Art des verwendeten Materials hat die Lichtquelle die Möglichkeit, den Leistungspegel, den Energiepegel und die Dauer der Belichtung einzustellen, wodurch eine detaillierte Kontrolle und Präzision innerhalb der Photolackschicht ermöglicht wird. 88 Series ist ein genaues und präzises Werkzeug zur Erzeugung von Photolackschichten, das es zu einem unschätzbaren Werkzeug bei der Herstellung verschiedener Materialien und Komponenten macht. Durch die Bereitstellung einer konsistenten und präzise strukturierten Photolackschicht ist sie in der Lage, vorbestimmte Bereiche des Substrats vor einer Exposition gegenüber einem zerstörenden reaktiven Material zu schützen, wodurch eine höhere Genauigkeit und Kontrolle im Herstellungsprozess gewährleistet ist.
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