Gebraucht SVG 88 #293770159 zu verkaufen

Hersteller
SVG
Modell
88
ID: 293770159
System.
SVG 88 ist ein von SVG (Silicon Valley Group) entwickeltes Photolacksystem. Photoresists sind lichtempfindliche Materialien, die typischerweise bei der Herstellung von Halbleiter- und verwandten elektronischen Bauelementen verwendet werden. Sie sind wesentlich bei der Bildung von Transistoren, Dioden, Widerständen und anderen Bauelementen. 88 ist ein thermisches Verarbeitungssystem, das das Drucken und Strukturieren hochpräziser Photolackmuster auf Wafern ermöglicht. Die Kombination der Merkmale erleichtert die Herstellung komplexer und komplexer Strukturen wie mikroskopischer Linien und durchgehender Waferkontakte. SVG 88 umfasst drei Hauptkomponenten: eine Lichtquelle, einen thermischen Regler und einen Waferhalter. Die Lichtquelle besteht aus einer Reihe von Miniaturlampen mit einer Ausgangsleistung von 40 Milliwatt pro Lampe. Diese Lampen emittieren Energie in einer gleichmäßigen räumlichen Verteilung, was ein sehr genaues Ätzen von Photolackmustern ermöglicht. Darüber hinaus sorgt ihre extrem kurze Belichtungszeit für eine schnelle Strukturierung bei minimaler Wärmebelastung. Der thermische Regler und der Waferhalter helfen, den Wafer beim Ätzen auf einer gleichmäßigen Temperatur zu halten. Dies wird durch den Einsatz eines eingebetteten Temperaturfühlkopfes erreicht, der sehr kleine Temperaturschwankungen mit hoher Genauigkeit messen kann. Der Kopf ist mit einem Temperaturregler verbunden, der in der Lage ist, die Erwärmung des Wafers schnell und präzise einzustellen. Schließlich weist der Waferhalter mehrere Freiheitsgrade auf, die es ihm ermöglichen, den temperaturempfindlichen Wafer im dreidimensionalen Raum zu manipulieren. Dies ermöglicht eine hohe Präzision bei der Positionierung des Wafers gegenüber der Lichtquelle. Es reduziert auch potenzielle Verzerrungsquellen und sorgt für ein präzises und einheitliches Resistmuster. Die Merkmale von 88 haben es zu einer Klammer bei der Herstellung komplexer Strukturen mit Photolack gemacht. Es bietet eine robuste und zuverlässige Lösung für hochgenaues Ätzen bei minimierter thermischer Belastung. Darüber hinaus ermöglicht seine benutzerfreundliche Oberfläche einen schnellen und effizienten Betrieb und macht es zum bevorzugten System sowohl von erfahrenen Mikrofabrikationsingenieuren als auch von Studenten.
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