Gebraucht SVG 88 #293829339 zu verkaufen
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ID: 293829339
Aqueous developer
Developer module
Hotplate
Chemical line
Heat exchanger
Pump
Temperature control.
SVG 88 ist eine Photolackausrüstung, die für die Entwicklung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Es wurde von Synchronous Vacuum Generator OU entwickelt, um mikroelektronische Geräte mit hoher geometrischer Genauigkeit zu produzieren. Das System ist in der Lage, photolithographische Auflösung von bis zu 0,004 Mikrometer, was es für die Herstellung einer Vielzahl von Komponenten geeignet macht. Hauptbestandteil von 88 ist der synchrone Vakuumgenerator. Es handelt sich um ein Halbleiterbauelement aus mehreren Aktorplatten, die jeweils einen Vakuumstrahl erzeugen können. Auf die Aktorplatten wird dann ein Laserstrahl gerichtet, mit dem ein Nanostrukturmuster auf ein Substrat erzeugt wird. Die Nanostruktur wird dann einem Elektronenstrahl oder einem UV-Licht ausgesetzt, um ein elektrisches Muster auf dem Substrat zu erzeugen. Die Photolackeinheit besteht aus zwei verschiedenen Teilen: der Maskierbank und der Spherical Variable Gain (SVG) -Kammer. In der Maskierbank werden Ausrichtmasken auf den Wafer aufgebracht und das Muster mit UV-Licht geätzt. In der SVG-Kammer werden die ausgerichteten Muster in der Maske mittels Elektronenstrahl oder UV-Licht auf das Substrat übertragen. SVG 88 Maschine ist dann in der Lage zu scannen und Feinabstimmung der Photolithographie Auflösung bis zu 0,004 Mikrometer, eine hohe Präzision in der Geräteherstellung zu erreichen. Das Verfahren wird durch den Einsatz eines Photomasken-Austauschwerkzeugs (PMEX), ein fortgeschrittener programmierbarer, beheizbarer Austauschroboter, der die Photomaske genau über das Substrat lädt, dreht und positioniert, weiter verstärkt. Das PMEX bietet auch eine ganze Reihe von Prozessparametern für Temperatur, Position und Rotation, was die Photomaskierung präziser und effizienter macht. Insgesamt ist 88 Photoresist Asset ein äußerst vielseitiges und präzises Werkzeug zur Herstellung mikroelektronischer Bauelemente. Es ist in der Lage, Strukturen mit geometrischer Genauigkeit bis zu 0,004 Mikrometer zu schaffen und wird weiter durch ein Photomasken-Austauschmodell ergänzt, das die Photomaske genau über das Substrat lädt, dreht und positioniert. SVG 88 ist ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug für die Entwicklung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente.
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