Gebraucht SVG 90S #9206219 zu verkaufen

SVG 90S (Sub-Micron Vapor-Phase Growth) ist ein zuverlässiges photochemisches Bedampfungssystem (PECVD) zur Verarbeitung hochwertiger Dielektrika, Metalle und anderer Materialien im Sub-Micron-Maßstab. Es wird typischerweise in einem breiten Spektrum von Halbleiterprozessen wie High-K und Low-K dielektrische Filmabscheidung, Metallsputtern und Ätzen verwendet. Im Kern von SVG 90-S befindet sich der C2-Drehreaktor, der Wafer bis 25 mm Durchmesser verarbeiten kann. Es verwendet zwei konzentrische horizontale Zylinder und ein externes Rohr, um eine Niederdruck-PECVD-Verarbeitung zu erreichen. Innerhalb des Reaktors werden die Wafer mit sehr geringer Geschwindigkeit einem genau gesteuerten Gemisch von Reaktantgasen ausgesetzt. Dadurch werden die Materialien verdampft, wodurch sie nukleatieren und auf die Oberfläche des Wafers wachsen. Die reaktiven Arten innerhalb des Reaktors werden durch Lichtblitze von Halogenlampen gezündet, um den Prozess zu initiieren. Durch dieses System kann 90 S eine extrem hohe Gleichmäßigkeit und Konformität der abgeschiedenen Folien erreichen, da durch das Dampfverfahren die Barrieren und Abscheideraten ohne Maskierung großflächig leicht eingestellt werden können. Damit eignet es sich sowohl für Low-k- als auch für High-K-Abscheideprozesse, da detaillierte Muster und dicke Folien auf breiten Wafern mit extrem geringen kritischen Abmessungen bei minimaler Restspannung erreicht werden können. Die Substrate bleiben sauber, da die Reaktion bei niedrigen Temperaturen stattfindet, wodurch die Gefahr einer Kontamination durch organische Partikel ausgeschlossen wird. Darüber hinaus ist 90S durch ein intuitives Touchscreen-Bedienfeld vollautomatisiert. Dies ermöglicht es Benutzern, die Filmabscheidungsrate, den Gasfluss und die Temperatur mit großer Präzision zu steuern. Mehrere Prozessrezepte können gespeichert und für wiederholbare Anwendungen zurückgerufen werden, während mehrere Rezepte gleichzeitig abgeschlossen werden können, um die Produktivität zu erhöhen. SVG 90 S 'Fähigkeit, qualitativ hochwertige Materialien auf Sub-Mikron-Skalen zu mustern und abzuscheiden macht es zu einem vielseitigen Werkzeug für eine breite Palette von Halbleiteranwendungen. Seine Genauigkeit und Wiederholbarkeit machen es eine ideale Wahl für das „U-Bootmikron-Niveau“ photowidersteht Verarbeitung, sowie Bedeckung von Hilfshalbleiteraufgaben wie das Spritzen, Ätzen, und kontaktiert Bildung.