Gebraucht SVG / AIO 86xx #9247857 zu verkaufen

SVG/AIO 86xx Series ist eine Photoresist-Ausrüstung von SVG, die für die Fertigung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Das System bietet sowohl Scan- als auch Sprühkopf-Subsysteme für überlegene Fehlerabdeckung, Durchsatz und hohe Ertragsleistung in einer Vielzahl fortschrittlicher Prozessebenen. Das Gerät eignet sich für eine Vielzahl von Prozessen, einschließlich mehrstufiger Strukturierung, Subviertel-Mikron-Features und der Fähigkeit, eine Via-und Interconnect-Bildung zu erreichen. Die Maschine ist in der Lage, schnell zwischen vollflächigen Belichtungen und hochpräzisen Funktionen mit feiner Linienauflösung zu wechseln. Mit bis zu vier Kassettensystemen ist das Tool in der Lage, einen hohen Geschwindigkeitsdurchsatz zu ermöglichen und gleichzeitig Ertrag und Leistung zu erhalten. Die Anlage verfügt über einen engen Rahmen, geringe Streulicht Beleuchtung, niedrige Schatten und hohe Gleichmäßigkeit. Es wurde entwickelt, um das Potenzial der teilweisen Schattierung zu beseitigen und die Kantenschärfe zu verbessern. Das Modell wird mit einer vier Raumdrehung coater/developer Einheit für schnelle und genaue planarization Anwendungen ausgestattet und hat chemische/mechanische Behandlung vorgebracht. Eine Neun-Achsen-Kantengenerator-Ausrüstung mit einer Positionsgenauigkeit von 0,4 Mikron hilft, komplexe Filmbildung genau zu steuern. Das System enthält auch eine Mehrstrahl-Laser-Bildgebungseinheit mit Ausgangsleistung von 2KW für schnelle und genaue schattenlose Lithographie. Die fortschrittliche Präzisionsoptik-Maschine verfügt über ein großes Sichtfeld für verbesserte Durchsatzmöglichkeiten. Die Optiksoftware ermöglicht die gleichzeitige Steuerung von Fotomaskenausrichtung und Verformungskorrektur, was zu klar definierten Strukturen mit höherer Auflösung und Durchsatz führt. Die erweiterten Funktionen zur Werkzeugsteuerung, -überwachung und -berichterstattung helfen Ihnen, schnell Feedback zur Prozessleistung und zur Gesamtanlagenzuverlässigkeit zu geben. Die überlegenen thermischen Managementfunktionen des Modells gewährleisten zuverlässigen Betrieb und Leistung bei der Verarbeitung von Hochtemperatur-Photoresists und anderer Chemie. Insgesamt ist SVG 86xx Serie eine fortschrittliche Photolackausrüstung, die entwickelt wurde, um überlegene Ausbeute und Durchsatz für fortgeschrittene Halbleiterbauelementproduktionsprozesse zu bieten. Es ist in der Lage, komplexe Musterungen mit enger Kontrolle und hoher Präzision für sehr zuverlässige Ergebnisse zu verarbeiten.