Gebraucht SVG / ASML 90S #9214756 zu verkaufen

SVG / ASML 90S
ID: 9214756
Polymide coater.
SVG/ASML 90S ist eine hochmoderne Photoresist-Ausrüstung, die von SVG, dem weltweit führenden Anbieter von Lithographiesystemen für die Halbleiterindustrie, entwickelt wurde. Dieses System wurde entwickelt, um eine zuverlässige Methode zur Strukturierung von Wafern für Deep-Submicron-Prozesse bereitzustellen. SVG 90S verwendet hochgenaues und empfindliches Laserlicht für die Belichtung eines lichtempfindlichen Resistmaterials. Mit Hilfe von beweglichen Spiegeln projiziert die Projektionsoptik topographische Muster in Photolackschicht auf das Substrat, wodurch mikroskopische Strukturen mit sehr hoher Präzision erzeugt werden können. Um eine ausreichende Belichtungsgleichmäßigkeit zu erreichen, wird eine interne Rückkopplungsschleife innerhalb der Projektormaschine verwendet, um die tatsächliche Belichtung kontinuierlich zu messen und entsprechend zu kompensieren. ASML 90S ist auch mit einem speziellen Argon Fluorid Gas (ArF) Laser mit einer Emissionswellenlänge von 193nm ausgestattet. Diese Wellenlänge ist optimal, um die Resistschicht in einem tiefen Submikronprozess effizient zu belichten. Darüber hinaus wird die Waferausrichtung mit einem Neigungsführungswerkzeug erreicht, das die Oberfläche des Substrats abtastet und die Positionsdaten sofort an die Software zurücksendet, um ihren Strahl einzustellen. Um eine nahtlose Kompatibilität mit verschiedenen Substraten zu gewährleisten, kommt 90S auch mit einer kompletten Palette von (un) montierten Kassetten, Spin-Chucks und Wafer-Handling-Zubehör, die alle eine High Accurate Connect (HAC) -Ressource verwenden, die einen toolless Austausch ermöglicht. Alle diese Bauteile gewährleisten eine äußerst präzise Übertragung des Wafers von der Kassette auf den Belichtungskopf. Was SVG/ASML 90S von anderen Photolacksystemen abhebt, ist, dass es eine Echtzeit-Druckbarkeitsanalyse bietet. Dies sorgt für Prozessoptimierung, eine integrative Qualitätskontrollplattform und senkt die laufenden Kosten weiter. Neben dem Ändern von Parametern umfassen andere Funktionen Backup und Wiederherstellung von Produktdaten, Schutz für Ihre Rezepte und Software-Updates. SVG 90S ist ein wichtiger Schritt in Richtung einer höheren Präzision in der Photolithographie und hat die Kunst der Musterung von Deep-Submicron-Prozessen revolutioniert. Verachtet die anfängliche Investition, bietet dieses Modell vielseitige, zuverlässige und kostengünstige Musterlösungen, um eine effizientere Produktion und anschließend höhere Erträge voranzutreiben.
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