Gebraucht SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000 #293760261 zu verkaufen

SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000 ist eine Photoresist-Belichtungs- und Entwicklungsausrüstung, die speziell für die aggressive lithographische Feinlinienverarbeitung entwickelt wurde. Dieses System ist ein programmierbares, automatisiertes Belichtungs- und Entwicklungsgerät, das entwickelt wurde, um kontinuierliche Prozesslösungen für die engsten Merkmalsanforderungen sowohl in der positiven als auch in der negativen Ton-Fotowiderstandsbearbeitung bereitzustellen. Die Einheit verfügt über einen einzigen Mechanismus bestehend aus einer präzisen linearen Stufe und einem einachsigen Servomotor, der es der Maschine ermöglicht, sich präzise entlang der X-Achse und der Z-Achse mit einer Geschwindigkeit von bis zu 0,1 mm pro Sekunde zu bewegen. Der Belichtungs- und Entwicklungskopf ist in der Lage, benutzerdefinierte programmierbare Bewegungsmuster in X, Y und Z mit einer Raumauflösung von 1 μ m/Stufe zu erstellen. SVS MSX-1000 bietet mehrere Auflösungen, darunter 0,4 μ m, 0,5 μ m, 0,7 μ m, 1 μ m und 1,2 μ m. Das Tool bietet auch eine Vielzahl von Belichtungsmodi wie Brightfield, Darkfield, Edge Sharpening, Contrast und Resolution Enhancement. Es ist auch in der Lage, variable Wiederholbelichtungen, variable Mehrfachbelichtung, Belichtung mit mehreren Schichten, 2D/3D-Offsetbelichtungen und simultane 3-Achsen-Belichtungen durchzuführen. Es kann auch eine Vielzahl von Foto-Resist-Materialien wie Deep-UV, sichtbare und Infrarot-Photoresists unterbringen. SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX1000 verfügt über eine benutzerfreundliche Steuerungsoberfläche zum einfachen Verwalten, Speichern und Nachladen von Asset-Einstellungen einschließlich aller Expositions- und Entwicklungsparameter. Darüber hinaus bietet der servoangetriebene Modulbau des MSX-1000 auch eine präzise Ausrichtung und Kompensation der Substrathandhabung und der Temperaturänderungen. Dieses Modell wird standardmäßig mit einer Reihe von In-situ-Messtechnik-Werkzeugen und Inspektionsgeräten geliefert, die es Anwendern ermöglichen, Druckposition und Schärfentiefe während des Belichtungsprozesses zu überwachen. SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000 sorgt für eine überlegene Profilsteuerung, eine niedrige Variation der kritischen Dimension (CD) und eine überlegene Druckbarkeit, wodurch ineffiziente Iterationen durch Prozessfehlstellungen und Instrumentendrift beseitigt werden können. Es ist auf Prozesseffizienz und Zuverlässigkeit ausgelegt, die Arbeit und Kosten bei der Reduzierung der Produktzykluszeit minimieren. Mit seinen Eigenschaften und Fähigkeiten bietet MSX1000 eine ideale Lösung für den lithographischen Feinliniendruck.