Gebraucht TAKAGI / SANGYO VHM15LC11 #9394920 zu verkaufen
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TAKAGI/SANGYO VHM15LC11 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für die Herstellung von mikroelektronischen und optoelektronischen Komponenten und Geräten entwickelt wurde. Es besteht aus einer Musterkammer und einem Zuführsystem, einer oberen und unteren Beschichtungskammer, einer Ätzkammer mit integrierter Beleuchtungseinheit und einem Trockner. Die Musterkammer und die Fördermaschine bieten eine präzise Möglichkeit, die freiliegende Resist-Oberfläche eines Wafers zu formen. Dies geschieht durch ein herkömmliches optisches Verfahren zur Zugabe von Licht und strukturierten Beschichtungen. Das Muster wird sowohl in Form von elektrisch induzierten Linien als auch in feinen Mustern ausgedrückt. Das Lieferwerkzeug verfügt über eine speziell entwickelte Optik, um sicherzustellen, dass das Muster genau ausgerichtet und genau verteilt ist. Die obere und untere Beschichtungskammer verwendet ein vorgemessenes Volumen an Photolackmaterial, das auf die Waferoberfläche aufgesetzt wird. Die obere Schicht sorgt für eine gleichmäßige Haftung auf dem Wafer, während die untere Schicht aufgetragen wird, um die Musterqualität zu verbessern. Ein speziell entwickeltes Beleuchtungsmodell dient zur Belichtung des Fotolacks und zur Musterung der Oberfläche des Wafers gemäß vorprogrammierten Anweisungen. Die Ätzkammer ermöglicht die Durchführung von Nassätzen des mit Photolack beschichteten Wafers. Eine automatisierte Ausrüstung ist vorhanden, um sicherzustellen, dass die Ätzung präzise gemustert und von hoher Qualität ist. Das integrierte Beleuchtungssystem ermöglicht die präzise Platzierung des gemusterten Ätzes mit optischen Dichten. Schließlich wird der Trockner verwendet, um die Entfernung von überschüssigem Photolack aus dem Wafer zu erleichtern. Es verwendet einen turbulenten Luftstrom, um sicherzustellen, dass keine Feuchtigkeit zurückbleibt und alle Spuren von Resist vollständig verdampft werden. Dadurch wird die Wahrscheinlichkeit verringert, dass während des Veredelungsprozesses potenzielle Fehler auftreten. Insgesamt ist TAKAGI VHM15LC11 eine hochentwickelte Einheit, die eine beeindruckende Präzision bei der Manipulation sowie der Herstellung mikroelektronischer und optoelektronischer Komponenten bietet. Die automatisierten Muster- und Ätzkapazitäten in Verbindung mit der integrierten Beleuchtungsmaschine ermöglichen den fachmännischen Umgang mit Komponenten, um höchsten Industriestandards gerecht zu werden.
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