Gebraucht TEL DUO #293670501 zu verkaufen

TEL DUO
Hersteller
TEL
Modell
DUO
ID: 293670501
Wafer Coater / Developer system.
TEL DUO ist eine Ausrüstung von Photoresist-Materialien, die bei der Herstellung elektronischer und optoelektronischer Bauelemente verwendet werden. Es handelt sich um eine Kombination von zwei Polymerschichten mit jeweils einem anderen Reaktivfarbstoff. Dabei werden die gesamten Systemmaterialien gemeinsam als „Photoresist“ bezeichnet. DUO wurde von Tokyo Electron (TEL) entwickelt und wird bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen eingesetzt. Es ist aufgrund seiner überlegenen chemischen und Umweltbeständigkeit und seiner Fähigkeit, als Photoresist für Licht, Wärme und Korrosion zu wirken, weit verbreitet. TEL DUO ist eine zweischichtige Struktur, die zunächst mit einer UV-Photoresistschicht auf Silikonbasis beschichtet ist. Diese Schicht wird dann mit einem lichtempfindlichen Resistmittel aufgebracht. Mit UV-Licht und chemischen Ätztechniken werden die ultradünnen Photolackschichten mit hoher Präzision erzeugt. Die zweite Schicht der DUO-Maschine ist eine Positivton-Photolackschicht, die auf den UV-belichteten Photolack aufgebracht ist. Diese Schicht hilft, Muster in der photobeständigen Schicht mit größerer Präzision zu erzeugen als das, was mit Standard-UV-Resist erreicht werden kann. Beim Aufbringen des TEL DUO-Verfahrens wird das ultraviolette Licht von oberhalb der Substratschicht herabgeschüttet und die obere Photolackschicht durch eine Maske belichtet. Nach der Belichtung wird die Deckschicht dann mit einem chemischen Reagenz abgeätzt und die darunter liegende strukturierte Photoresistschicht aufgedeckt. Die Vorteile des DUO Photoresist Tools sind zahlreich. Es bietet nicht nur eine überlegene chemische und Umweltbeständigkeit, sondern ermöglicht auch eine hohe Präzision bei der Herstellung kleiner und komplexer elektronischer und optoelektronischer Komponenten. Darüber hinaus sind seine doppelten Schutzschichten viel langlebiger als nur eine Schicht und sorgen so für eine erhöhte Lebensdauer derjenigen Bauteile, die rauen Bedingungen ausgesetzt sind. Da TEL DUO asset in bestehenden Lithographiesystemen problemlos eingesetzt werden kann, kann es schnell in Halbleiterbauelementen und optoelektronischen Bauelementherstellungen implementiert werden.
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