Gebraucht TEL / TELIUS Immersion #9267456 zu verkaufen

TEL / TELIUS Immersion
ID: 9267456
Track system, parts machine BSB Coat module Cassette stage block Develop module GCN Cabinet HP and adhesion plates Interface resist buffer Interface spin drivers Interface 1 Interface 2.
TEL/TELIUS Immersion ist ein Photoresist-System, das sich durch tiefes Eindringen von Licht auszeichnet und eine präzisere Auflösung in der Photolithographie mit hoher Dichte ermöglicht. Sie wird bei der Mikrofertigung integrierter Schaltungen sowie mikroelektronischer Bauelemente eingesetzt. TEL Immersion verwendet ein Photolackmaterial, ein Polymerfilm, der für bestimmte Lichtwellenlängen empfindlich ist. Auf den Photolack aufgebrachtes Licht bewirkt eine Änderung seiner Eigenschaften, wodurch das gewünschte Muster in ein Substrat geätzt werden kann. Durch das Eintauchen des Photolacks in eine Flüssigkeit kann mehr Licht in den Photolack eindringen, was die Schärfentiefe und Auflösung erhöht. TELIUS Immersion hat gegenüber herkömmlicher Photolithographie mehrere Vorteile. Es ist viel effizienter aufgrund seiner erhöhten Schärfentiefe und ist in der Lage, höhere Präzisionsbilder mit erhöhter Genauigkeit zu erzeugen. Es ist auch äußerst kostengünstig, da es keine zusätzlichen Chemikalien oder teure Ausrüstung erfordert, was es ideal für Massenproduktionsprozesse macht. Darüber hinaus ermöglicht die kürzere Prozesszeit eine schnellere Herstellung integrierter Schaltungen und anderer mikroelektronischer Komponenten. Der Eintauchvorgang beginnt mit dem Abscheiden einer Photolackschicht auf einem Substrat, das zuvor gereinigt und behandelt wurde. Während des Belichtungsschritts wird es mit einer Lichtquelle, wie z.B. einem Laser, beleuchtet, der den Photolack gegebenenfalls belichtet. Die eingedrungenen Bereiche des Photolacks erfahren eine Änderung seiner Eigenschaft, die eine Resistentfernung im nachfolgenden Ätzschritt ermöglicht. Dadurch ergibt sich das in das Substrat eingeätzte Muster bzw. Design. Schließlich wird der Photolack entfernt. Nach der Inspektion kann dann das Substrat weiterverarbeitet oder wie es ist verwendet werden. TEL/TELIUS Immersion bietet die Vorteile einer hohen Auflösung und Genauigkeit, einer schnellen und kostengünstigen Produktion sowie einer minimalen Materialverschwendung.
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