Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9042727 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es besteht aus drei Hauptkomponenten: einer Tauchkammer, einem Hochtemperatur-Backsystem und einem Auto-Aligner. Das Gerät eignet sich ideal für die Verwaltung einer Vielzahl von Photolackprozessen, von Schleuderbeschichtung, Backen, Vorbacken und Entwicklungsprozessen. Die Kammer innerhalb TEL ACT 12 ist eine pneumatisch betriebene, geschlossene Tauchkammer. Es ist druckfest und bietet eine sichere Umgebung für die Verarbeitung von Photoresists. Zusätzlich gewährleistet die Umwälzdüse eine gleichmäßige Verteilung der Photolacklösung. Dadurch entfällt das mechanische Rühren. Die Hochtemperatur-Backmaschine sorgt für eine gleichmäßige Erwärmung von Wafern. Es wird von einer einzigen Heizung angetrieben und verwendet eine einstufige, thermische Zone Backen durch einen programmierbaren Cluster gesteuert. Seine Temperatureinstellungen eignen sich gut zum mehrstufigen Temperaturbacken von Photoresists. Der Auto-Aligner misst und richtet Photomasken schnell an die richtige Position aus. Es ist mit einem Anauto-Aligner ausgestattet, der von einem Präzisionsmotor angetrieben wird. Die verwendete Weitfeldsicht minimiert Fehler und Fehlstellungen. Zusätzlich wird über eine automatische Wafer-Positionsregelung sichergestellt, dass die korrekte Ausrichtung erfolgt. Insgesamt eignet sich TOKYO ELECTRON ACT12 für Photoresist-Applikationsprozesse. Seine druckfeste Kammer führt zu einer sicheren Niederdruckverarbeitung. Zusätzlich kann sein Hochtemperatur-Backwerkzeug mehrstufiges Temperaturbacken bereitstellen. Schließlich ermöglicht sein Auto-Aligner eine schnelle und genaue Mask-zu-Wafer-Ausrichtung. Zusammen machen diese Komponenten dieses Photoresist-Asset zu einer idealen Wahl für empfindliche Halbleiterherstellungsprozesse.