Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9088377 zu verkaufen
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ID: 9088377
Dual Block System
Paired with Nikon S204 Scanner
(4) Cassette Blocks
T&H Units & Filter Controller Units
AC Power Unit
(2) Chemical Cabinets.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die ultraviolettes (UV) Licht verwendet, um ein Photoresist-Material zu belichten, um ein Muster zu erzeugen. Dieses Muster kann dann in ein Substrat, wie einen Siliziumwafer, geätzt werden, um integrierte Schaltungskomponenten und -einrichtungen zu schaffen. TEL ACT 12 ist ein „5-in-1“ -System, d.h. es beherbergt fünf verschiedene Komponenten in einer Einheit. Dazu gehören: ein Scanner, ein Akzeptor, eine UV-Lampe, ein Controller und eine Kontaktbelichtungseinheit (CEU). Der Scanner ist eine Vorrichtung, die sich in einem sich wiederholenden Muster über das Photolackmaterial bewegt, das die Moleküle mit UV-Licht belichtet. Der Akzeptor ist eine Kondensationseinheit, die den Resist auf die für die UV-Belichtung optimale Temperatur abkühlt. Die CEU ist eine Kammer, die die Resist- und Lichtquelle in einer luftdichten Umgebung hält, die in der Belichtungsstabilität hilft, einheitliche Ergebnisse zu erzielen. Die UV-Quelle ist eine Hochleistungslampe, die UV-Spektren emittiert, und zwar im Wellenlängenbereich von 300-400 nm. Diese Art von Licht ist für die Photoresistbelichtung notwendig, da es als Katalysator dient, um chemische Reaktionen in den Molekülen auszulösen. Der Controller führt die gesamte Einheit aus und stellt sicher, dass alle Parameter für die Belichtung erfüllt sind. TOKYO ELECTRON ACT12 ist in der Lage, Photoresist im Detail zu belichten. Diese Präzision führt zu komplexen Mustern, die verschiedene Komponenten wie Transistoren und Kondensatoren auf einem Siliziumwafer replizieren können. Es hat auch die Fähigkeit, Filme so dünn wie 0,5 µm zu belichten, was notwendig ist, um die Produktion kostengünstig zu machen und die Ausbeute zu erhöhen. Darüber hinaus ist ACT 12 sehr zuverlässig und kostengünstig. Mehr so, es ist benutzerfreundlich und hocheffektiv, so dass es ideal für die Herstellung von Mikrochips und integrierten Schaltungen. Abschließend ist ACT12 Maschine ein leistungsfähiges Werkzeug zur Herstellung von Mikrochips und anderen integrierten Komponenten. Seine Vielseitigkeit und präzise Ergebnisse, so dass es eine Top-Wahl für diese Anwendungen.
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