Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9102945 zu verkaufen
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ID: 9102945
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
(3) Coaters / (4) Developers systems, 12"
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist ein Photoresist-Gerät zum Ätzen und Strukturieren von Halbleitern und Dünnschichtmaterialien bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen elektronischen Bauelementen. Dieses System ermöglicht eine präzise und präzise Strukturierung der Dünnschichtmaterialien in der gewünschten Form. Es wurde entwickelt, um eine hervorragende Leistung in Photolithographie-Prozessen zu bieten und ist in der Lage, hochauflösende Muster mit minimaler Substratschädigung zu erzeugen. TEL ACT 12 besteht aus mehreren Komponenten, darunter Lichtquelle, Objektiv, Blende und Scanner. Die Lichtquelle ist eine mehrwellige UV-Lichtquelle, die einen gleichmäßigen Lichtstrahl zur gleichmäßigen Belichtung des Substrats erzeugt. Das Objektiv ist so konzipiert, dass es ein größeres Sichtfeld bietet und die Auflösung für die Ausführung sauberer Muster verbessert. Die Blende wird verwendet, um die Lichtquelle für eine gleichmäßige und präzise Strukturierung zu formen. Der Scanner wurde auch entwickelt, um ein großflächiges Scanfeld zur schnellen und genauen Strukturierung bereitzustellen. Der grundlegende Ätzprozess von TOKYO ELECTRON ACT12 machine folgt einem sequentiellen Muster. Zunächst wird der Photolack auf das Substrat gesponnen. Dieser Vorgang muss gut kontrolliert werden, um das gewünschte Ätzmuster zu erhalten. Dies geschieht durch Einstellung der Viskosität, Schleudergeschwindigkeit und Temperatur des Photolacks vor dem Aufbringen. Zweitens wird das Substrat der UV-Lichtquelle ausgesetzt. Der Lichtstrahl wird durch die Linse und die Blende fokussiert und geformt, um eine präzise Strukturierung zu erreichen. Drittens wird der Photolack entwickelt und in der gewünschten Form auf das Substrat gemustert. Schließlich wird das Substrat geätzt, um das gewünschte Muster zu erzeugen. ACT 12 Tool ist ein zuverlässiges und effizientes industrielles Photolithographie-Tool. Die Präzisionsmuster bieten den höchsten Qualitätsstandard für die effiziente Herstellung von Halbleiter- und Dünnschichtbauelementen. Darüber hinaus ist es durch sein großes Abtastfeld und seine mehrwellige Lichtquelle ein ideales Werkzeug für den Einsatz bei der Ätzung und Strukturierung verschiedener Materialien. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON ACT 12 asset ein effektives Photolackmodell für das Ätzen und Strukturieren von integrierten Schaltungen und anderen Komponenten in der Elektronikindustrie.
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