Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9112903 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für die Halbleiterherstellung verwendet wird. Mit Photolacksystemen wird eine lichtempfindliche Beschichtung auf Halbleiterscheiben aufgebracht. Das Ziel der Verwendung solcher Systeme ist es, Muster auf dem Wafer zu erstellen, um seine elektrischen und anderen Eigenschaften zu steuern. TEL ACT 12 ist ein optimiertes Photolacksystem, das speziell für die fortschrittliche Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es ist ein fortschrittliches Werkzeug mit einem eingebauten Projektor, zwei Fokusflecken und einer Warenkorb-Entlade-/Ladestation. Je nach Kundenanforderung kann das Gerät programmiert werden, um strukturierte Schichten mit Unterauflösungsfunktionen bis zu 0,35 µm zu liefern. TOKYO ELECTRON ACT12 ist mit einer doppelten 12-Zoll-Außenkassette ausgestattet, die sicherstellt, dass die Wafer während der Verarbeitung fest gehalten werden. Die Projektionsbelichtungsmaschine liefert hochpräzise Bilder über einen weiten Belichtungsbereich. Der Projektor ist mit einem Laser-Interferometer ausgestattet, das mit einem automatischen Ausrichtwerkzeug gekoppelt ist, das eine genaue Projektion gewährleistet. Die auf Basis eines mathematischen Algorithmus optimierten Zwei-Fokus-Spots tragen ebenfalls zur Erhöhung der Genauigkeit des projizierten Bildes bei. Darüber hinaus verfügt das Asset auch über ein integriertes Redundanzmodell. Dadurch wird sichergestellt, dass sie im Falle eines Gerätefehlers sicher ausfällt und die Wafer nicht beschädigt. Das System beinhaltet auch eine schwingungsarme Fördereinheit oberhalb des Bereichs, die Vibrationen während der Bearbeitung minimiert und Schäden an den Wafern reduziert. Schließlich ist ACT 12 mit einer benutzerfreundlichen grafischen Oberfläche gestaltet. Dies soll die Maschineneinrichtung und Mustererstellung einfacher und schneller machen. Das Tool ist auch mit einem eingebetteten Monitor-Modul ausgestattet, das die Asset-Performance kontinuierlich überwacht und detailliertes Feedback zu etwaigen Auffälligkeiten liefert. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON ACT 12 ein leistungsstarkes Photolackmodell, das speziell für den Einsatz in der fortschrittlichen Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Mit Funktionen wie automatischer Ausrichtung, zwei Fokuspunkten und einem Redundanzsystem für Geräte bietet das Gerät hohe Präzision und Zuverlässigkeit für die Erstellung komplexer Muster auf Halbleiterwafern.