Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9142701 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung für kritische Geräteherstellungsprozesse. Es handelt sich um ein CVD-Werkzeug (Chemical Vapor Deposition), mit dem dünne Photolackschichten auf Substratscheiben abgeschieden werden. Der Prozess beginnt damit, die Wafer zunächst auf das System zu laden, das sie dann ausrichtet und in eine Vakuumkammer transportiert. Die Kammer beherbergt eine Electron-Asist Source (EAS), die einen Elektronenstrahl erzeugt, um eine Gasphasenreaktion für die Photoresistabscheidung zu aktivieren. Das Gerät ist auch mit der Microparticle Image Signal Processing (MISP) Maschine ausgestattet, die Dünnschichteigenschaften von Nanopartikeln misst, und dem Electron Cyclotron Resonance (ECR) Gerät, das hilft, eine stabile Atmosphäre für den Abscheidungsprozess aufrechtzuerhalten. Der ECR hilft weiter, Plasmainstabilitäten in der Kammer durch Druckdifferenz von außen und innen der Kammer zu mildern. Der Gasreaktor leitet dann das entsprechende Gemisch aus Photoresist und Reaktantgasen in die Prozesskammer ein. Der Photolack wird der Elektronenstrahl- und Gasphasenreaktion ausgesetzt, um auf allen Wafern eine gleichmäßige Dünnfilmschicht zu erzeugen. Die Dicke der Folienschicht wird über einen Drehwächter gesteuert, der eine genaue Impulsdauer bei jedem gegebenen Drehwinkel ermöglicht. Dieses Tool bietet hervorragende Sicherheitsstandards, Überwachungssysteme und eine Reihe von Komponenten, die für die Bereitstellung hochwertiger Dünnschichtschichten entwickelt wurden. Es ist weit verbreitet in fortschrittlichen Lithographie- und Ätzprozessen wie Nanoaufdrucken, Bandübertragung, Halbleiterabscheidung und -verpackung und kann mit einer Vielzahl von Photoresistmaterialien verwendet werden. Es hat die Fähigkeit, bis zu 600mm Wafer in einem einzigen Lauf zu verarbeiten, so dass es ideal für hochvolumige Geräteherstellungsprozesse ist. TEL/TOKYO ELECTON TEL ACT 12 ist eine zuverlässige und fortschrittliche CVD-Anlage, die hochwertige Dünnschichtschichten schnell und effizient herstellt. Es ist vielseitig einsetzbar und in der Lage, verschiedene Photolackmaterialien zu verarbeiten, wodurch sichergestellt ist, dass es in einer Vielzahl von Geräteherstellungsverfahren eingesetzt werden kann. Damit ist es ein unverzichtbares Werkzeug für Gerätehersteller, die präzise Bauteile mit zuverlässigen Dünnschichtschichten zu einem Bruchteil der Kosten herstellen möchten.