Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9224985 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12
ID: 9224985
Wafergröße: 12"
Coat / Develop systems, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine Photolackausrüstung, die speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es ist ein hochspezialisiertes Werkzeug zur Herstellung von Halbleiterschaltungen. Dieses System verwendet speziell eine Art Photoresist namens „positiver“ Photoresist, der auf Muster von ultraviolettem oder sichtbarem Licht reagiert, indem es seine molekulare Struktur ändert. Das veränderte Molekül bildet eine extrem dünne Schicht aus Schutzfolie über der strukturierten Oberfläche. TEL ACT 12 Einheit besteht aus drei Hauptkomponenten. Zunächst wird ein spezieller Masken-Aligner verwendet, um den Fotolack zu belichten. Dieses Gerät ist mit einer hochpräzisen Optik ausgestattet, die eine präzise Ausrichtung einer Fotomaske auf das Substrat ermöglicht. Die zweite Komponente ist eine Maskenbeleuchtungsmaschine, die aus einer Xenon- oder Krypton-Lampe besteht, die einen Strahl aus ultraviolettem oder sichtbarem Licht erzeugt. Je nach Anwendung kann das Beleuchtungswerkzeug für ein breites oder enges Strahlungsspektrum ausgelegt sein. Schließlich enthält die Anlage eine Entwicklungskammer, in der die Prozesschemikalien, die zum Ätzen des belichteten Schaltungsmusters verwendet werden, auf dem Substrat untergebracht sind. TOKYO ELECTRON ACT12 Modell zeichnet sich durch extrem präzise Muster in einer Vielzahl von Anwendungen aus. Um diese Genauigkeit zu erreichen, ist das Gerät mit fortschrittlichen Funktionen wie programmierbarem Zoom und Fokus, mechanischer Rückseitenausrichtung und integrierten Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen ausgestattet. Darüber hinaus hat TEL eine „Auto-Tune“ -Version ACT12 Systems veröffentlicht, mit der Benutzer bestimmte Parameter wie Maskenausrichter, Beleuchtungseinheit und Entwicklungsraumeinstellungen anhand des verwendeten Musters und Substrats schnell abstimmen können. Abschließend ist TOKYO ELECTRON ACT 12 eine fortschrittliche, zuverlässige Maschine zur Herstellung feiner Muster in Halbleiterbauelementen und Schaltungen. Es ist mit fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, die eine präzise Ausrichtung und Belichtung des Fotolacks ermöglichen, und ist in der Lage, extrem genaue Muster zu erzeugen. Darüber hinaus macht TOKYO ELECTRON Auto-Tune Funktion das Werkzeug extrem vielseitig, so dass Benutzer schnell und einfach das Element für verschiedene Anwendungen konfigurieren können.
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