Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9235798 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Bildung mikrofeiner und ultrafeiner Detailmuster auf Halbleiterscheiben. Es basiert auf dem Prinzip der Photochemie, das Licht verwendet, um eine bestimmte chemische Verbindung durch eine chemische Reaktion in eine andere Form umzuwandeln. Kernstück von TEL ACT 12 ist eine E-Gun-Belichtungsoptik, mit der die Lichtmenge, die bei der photochemisch gesteuerten Reaktion eingesetzt wird, exakt gesteuert wird. Diese Belichtungseinheit verwendet einen Halbleiterwafer in Kombination mit einem Elektronenstrahl und einer Photomaske, die das erforderliche Muster enthält, um das Muster auf den Wafer zu übertragen. Der Elektronenstrahl ist arrayartig über den Wafer gerichtet und kann auf unterschiedliche Intensitätsstufen eingestellt werden. Vor dem Wafer ist ein Verschluss angeordnet, um unterschiedliche Intensitätsstufen durchzulassen. Neben der optischen Belichtungsmaschine der E-Gun verfügt TOKYO ELECTRON ACT12 auch über ein Waferstabilitätswerkzeug, das dafür sorgt, dass der Wafer während des Filmbildungsprozesses stabil bleibt. Diese Maßnahme nutzt eine Filmübertragungsstufe, die vor dem Wafer angeordnet ist, um ihn während des Belichtungsprozesses zu unterstützen und eine präzise Dickenkontrolle zu ermöglichen. Es enthält auch ein Temperaturregelmodell, das die Wafertemperatur reguliert, um eine gleichmäßige Filmbildung zu gewährleisten. Die Gesamtausrüstung hat einen hohen Durchsatz und ist in der Lage, Muster auf Wafern verschiedener Größen zu bilden, darunter 4 ", 6" und 12 ". Darüber hinaus bietet TEL ACT12 die Flexibilität, eine Vielzahl von Resistfilmen zu unterstützen, umfasst positive und negative Photoresists, sowie SU-8 und SU-8XL resists, Darüber hinaus ist das Belichtungssystem in der Lage, komplexe Details zu bilden, einschließlich 10-Mikron-Linien und Räume, und kann eine Auflösung von bis zu 150 nm erreichen. Das Gerät ist auch für die geringe Partikelerzeugung optimiert, so dass es ideal für den Einsatz in Reinraumumgebungen ist. TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine hochentwickelte und effiziente Photolackmaschine, die Anwendern die Flexibilität und Genauigkeit bietet, die sie benötigen, um hochpräzise und komplizierte Details auf Halbleiterscheiben zu erstellen. Es hat einen hohen Durchsatz und ist auch benutzerfreundlich, so dass es eine ideale Wahl für alle Photoresist-Anwendungen.