Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9239543 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die von TEL Limited (TOKYO ELECTRON) für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das System wurde entwickelt, um genaue, gleichmäßige und wiederholbare Ergebnisse bei der Verarbeitung von Photolackbeschichtungen auf Halbleiterscheiben zu liefern. TEL ACT 12 ist mit einem automatisierten Reinigungsarm ausgestattet, der jegliche Verschmutzung von Wafern vor der Photolackbeschichtung entfernt. Die Wafer werden dann in die Maschine gelegt, wo genaue Mengen an Photolack in Schichten bis zu einer Gesamtdicke von 12 µm aufgebracht werden. Die Schichtung des Photolacks erfolgt durch eine laserbasierte interferometrische Stufe, die eine genaue Dickenkontrolle und Gleichmäßigkeit der Beschichtung gewährleistet. Der automatisierte Reinigungsarm sorgt auch dafür, dass überschüssiger Photolack vor dem Nachbackvorgang aus dem Wafer entfernt wird. Das Nachbacken erfolgt bei hohen Temperaturen (bis 500 Grad Celsius), um sicherzustellen, dass die Photolackbeschichtung vollständig ausgehärtet und verarbeitungsbereit ist. TOKYO ELECTRON ACT12 Tool ist mit einem fortschrittlichen Überwachungsgerät ausgestattet, das es ermöglicht, die Temperatur des Modells während der Verarbeitung genau zu steuern und zu überwachen. Dadurch wird sichergestellt, dass die Photolackschicht genau ausgehärtet wird und die Temperatur während des Prozesses die empfohlenen Grenzwerte nicht überschreitet. Die Software-Oberfläche von ACT12 ist benutzerfreundlich und intuitiv. Es bietet verschiedene Programmiermöglichkeiten sowie eine intuitive Benutzeroberfläche zur Steuerung der Bedienung der Geräte. Auf diese Weise können Benutzer die Photolackschicht bei Bedarf einfach einrichten und anpassen. Das System bietet auch erweiterte Automatisierungsfunktionen, einschließlich automatischer Wafer-Handhabung und Kalibrierung. Dadurch kann der Anwender die Schichten und Dicke des Fotolacks schnell und einfach einstellen. TOKYO ELECTRON ACT 12 Photolackeinheit ist eine leistungsstarke, präzise und zuverlässige Maschine zur Verarbeitung und Beschichtung von Halbleiterscheiben. Seine fortschrittlichen Funktionen ermöglichen es Anwendern, schnell und einfach einheitliche und wiederholbare Beschichtungen auf Wafern zu erzielen, während sein automatisierter Reinigungsarm sicherstellt, dass vor der Verarbeitung keine Verunreinigungen auf dem Wafer hinterlassen werden. Das fortschrittliche Überwachungswerkzeug sorgt dafür, dass die Temperatur der Anlage kontrolliert gehalten wird, so dass der Benutzer die Photolackschicht während der Verarbeitung genau steuern kann. Es bietet auch eine intuitive Benutzeroberfläche, mit der Benutzer die Ebenen und Dicken einfach programmieren können.