Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9244894 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine Photoresist-Verarbeitungsanlage für eine Vielzahl von Anwendungen. Es ermöglicht Benutzern, eine Vielzahl von feinen Strukturmustern mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu entwickeln. Das System ist mit einem fortschrittlichen und anspruchsvollen Halbleiter-Prozessregler ausgestattet, der verschiedene kundenspezifische Prozesse unterstützt. Das Gerät ist in der Lage, hochauflösende Muster mit Auflösungen bis 200 nm zu erzeugen. Bei dem Photolackverfahren wird eine Schicht aus lichtempfindlichem Material auf das Substrat aufgebracht. Nach dem Aufbringen des Photolacks wird dieser dann der entsprechenden Art von Licht, wie tiefem ultraviolettem Licht, ausgesetzt. Die Belichtung aktiviert den Photolack in bestimmten Bereichen, und das Material wird in diesen Bereichen gehärtet, so dass es immun gegen den nachfolgenden chemischen Prozess. TEL ACT 12 Maschine kommt mit einer Reihe von proprietären Software, die Bediener mit einem leistungsstarken Bereich oder Tools und Funktionen für die Einrichtung des erforderlichen Prozesses bietet. Es enthält ein Soft Detail Generator (SDG) -Programm, mit dem Benutzer Muster schnell und genau simulieren und anpassen können, bevor sie zu einem Substrat verarbeitet werden. Es weist außerdem eine separate Tanksteuerstation auf, die eine genaue Einstellung des Gasstroms für jeden Prozessschritt ermöglicht. Die Präzision des Werkzeugs wird durch seine fortschrittliche Bewegungssteuerung unterstützt, die ein dynamisches Bewegungsprofil sowie eine Bewegungsstabilisierung bietet, um sicherzustellen, dass Muster genau und effizient abgelegt werden. Das Modell ist in der Lage, extrem schnelle, hochgenaue Bewegung von Substraten in X- und Y-Richtung auszuführen. TOKYO ELECTRON ACT12 ist auch mit einer fortschrittlichen bildgebenden Ausrüstung ausgestattet, die es Benutzern ermöglicht, Muster zu überprüfen und zu überprüfen, wie sie erstellt werden. Es verwendet eine hochauflösende Kamera, um Bilder von Substraten aufzunehmen. Es kann Mikrofehler im Substrat erkennen und diese Informationen zur Korrektur an den Controller weiterleiten. Unterstützt wird das System auch durch eine automatisierte Reinigungs- und Bearbeitungseinheit für Wafer, die dem Bediener eine effiziente und integrierte Prozesssteuerung, Reinigung, Trocknung und Vorbacken ermöglicht. Das integrierte Design ermöglicht einen effizienten und kostengünstigen Workflow mit minimalem Aufwand. ACT12 ist eine effiziente und kostengünstige Photolackverarbeitungsmaschine, die für ein breites Anwendungsspektrum ausgelegt ist. Es ist mit einer fortschrittlichen Prozesssteuerung, einer ausgeklügelten Software, einer Tankkontrollstation, einem hochgenauen und schnellen Bewegungssteuerungswerkzeug und einem automatisierten Waferreinigungsprozess ausgestattet. Seine hochauflösende Bildgebungstechnologie ermöglicht es ihm, Mikrofehler im Substrat zu erkennen und zu korrigieren, und sein integriertes Design und effizienter Workflow bieten Anwendern ein leistungsstarkes und kostengünstiges Werkzeug für ihre Photoresist-Verarbeitungsanforderungen.