Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9271250 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12
ID: 9271250
System 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine Photoresist-Anlage, die zum Ätzen, Abscheiden und Reinigen von Prozessen innerhalb der Halbleiterherstellungsindustrie verwendet wird. Es ist eine fortschrittliche Technik, die genaue Kontrolle über das Ätzen von Dünnschichtschichten auf einer Oberfläche bietet. TEL ACT 12 ermöglicht es Benutzern, Mikrofeaturen mit hoher Auflösung, hohem Seitenverhältnis und minimalen Photoresistresten exakt zu strukturieren, zu plotten und zu ätzen. TOKYO ELECTRON ACT12 besteht aus einem Werkzeugrahmen, einer Bedienungskonsole, einer Spezialapertur-Steuereinheit und einem Laserbestrahlungssystem. Die ersten beiden Komponenten ermöglichen es Benutzern, das Gerät zu steuern sowie die Parameter entsprechend zu überwachen und anzupassen. Die Specialized Aperture Control Unit (SACU) sorgt für die höchste Auflösung der Mikrostruktur. Dies geschieht mit einem eng integrierten Laserstrahl, Verschluss und Optik. Durch die Einstellung der Laserstrahlgröße, Strahlform und Brennpunktgröße und -position ist die Maschine in der Lage, das erforderliche Muster mit den kleinsten möglichen Merkmalsgrößen genau zu erzeugen. Das Laserbestrahlungswerkzeug wurde entwickelt, um Mikrofeaturen mit hohem Seitenverhältnis effizient und mit minimalen Photoresistresten zu ätzen. Dies geschieht durch Kombination eines rechnergesteuerten Lasermustergenerators und einer extern modulierten Laseroptik. TEL ACT12 ist für verschiedene Prozesse ausgelegt. Der Abscheidevorgang ermöglicht es dem Anwender, dünne Filme mit gewünschten Merkmalen auf einer Oberfläche abzuscheiden, während der Ätzvorgang hilft, Muster auf dem Substrat genau zu ätzen. Das Modell kann auch einen Deaktivierungsvorgang (zur Reinigung der Oberfläche des Substrats) nach dem Ätzvorgang durchführen. TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine unglaublich vielseitige Photoresist-Ausrüstung. Es ist in der Lage, ultrafeine Funktionen mit Kompatibilität zu einer Vielzahl von verschiedenen Substraten zu schaffen und gleichzeitig außergewöhnliche Ergebnisse zu erzielen. Diese Merkmale, zusammen mit der einfachen benutzerorientierten Bedienung, machen es zu einer idealen Wahl für den Ätz-, Abscheide- und Reinigungsprozess in der Mikrofertigungsindustrie.
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