Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9289936 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung von TEL Limited. Dieses System bietet Hochgeschwindigkeitsproduktion von Mikroelektronik-Geräten und anderen Komponenten ohne Kompromisse bei der Genauigkeit. Die Anlage verwendet ein flüssiges Photolackmaterial, das mit einem Schleuderverfahren auf eine Waferoberfläche aufgebracht wird. Diese Anwendung ist sehr genau und verwendet einen erweiterten Steuerungsalgorithmus, der Positionsfehler kompensiert. Nach dem Aufbringen des Photoresist wendet TEL ACT 12 eine ultraviolette Lichtquelle auf den Wafer an. Dieses Licht ist präzise kalibriert und kann auf eine bestimmte Wellenlänge, Strahlprofil und Intensität eingestellt werden. Mit diesem Licht wird das Photolackmaterial einem entsprechenden Muster aus Licht und Wärme ausgesetzt, wodurch detaillierte Merkmale im Photolack erzeugt werden können. Sobald der Photolack belichtet ist, wird das Teil in eine sekundäre Prozesskammer gelegt. Dabei wird der Photolack einem Nachbelichtungsbackprozess ausgesetzt. Dies hilft, Material in die gewünschte Form zu bringen und ermöglicht es, die Merkmale im Fotolack aushärten zu lassen und haltbarer zu werden. Schließlich kann das Teil in ein Bad einer Entwicklerlösung eingelegt werden. Dieses Bad ätzt ein solches unerwünschtes Material weg, wo das Licht und die Wärme nicht aufgebracht wurden, und hinterlässt das Muster der im Photolack eingestellten Merkmale. Danach kann eine zweite Entwicklerlösung verwendet werden, um den Rest des Materials einschließlich des Photolacks zu entfernen und den Prozess abzuschließen. TOKYO ELECTRON ACT12 ist eine Präzisions-Photoresist-Maschine von TOKYO ELECTRON Limited, die für die genaue Strukturierung mikroelektronischer Komponenten entwickelt wurde. Dieses Tool verwendet einen Spin-Beschichtungsprozess, Präzisions-Ultraviolettlicht und Post-Exposure-Backen und ein Entwicklerbad, um detaillierte Funktionen im Photolack zu erstellen. Diese Ressource ist effektiv für die schnelle Produktion von Mikroelektronik-Komponenten ohne Kompromisse bei der Genauigkeit.