Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9290661 zu verkaufen
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ID: 9290661
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
Coater / (2) Developer system, 12"
Track 1:
Single block
ADH
Track 2:
Resist reduction: RRC
Developer nozzle: H Nozzle
RDS Resist pump: 10 ml
Oven:
(3) CPL
(7) LHP
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12, eine von TEL entwickelte Photoresist-Ausrüstung, die von verschiedenen Distributoren auf der ganzen Welt vermarktet wird, ist ein kostengünstiges und dennoch fortschrittliches Ätzsystem, das hauptsächlich für die Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Die Einheit ermöglicht die genaue Herstellung komplexer Muster auf Substraten durch Steuerung der Photolackabscheidung. Photoresist ist eine Art lichtempfindliches Material, das auf Halbleiterbauelemente und andere ähnliche Materialien aufgebracht wird, um sie durch Ätzen oder Abscheiden zusätzlicher Schichten zu strukturieren. TEL ACT 12 Maschine ist benutzerfreundlich konzipiert und bietet eine breite Prozessfähigkeit für eine Vielzahl von Prozessen, wie Kontaktlithographie, Spin-Beschichtung, Maskenausrichtung und Nachbehandlungsschritte. Das Tool enthält mehrere leistungsstarke Hardwarefunktionen, um eine genaue Prozesskontrolle zu gewährleisten. Dazu gehören ein Photoresist-Supply-Asset, ein Wafer-Handling-Modell, ein Mustergenerator, eine Laserausrichtung und ein Autofokus-Mechanismus. Die Gesamtausstattung verfügt über einen großen Arbeitsbereich mit hoher Fahrgenauigkeit und hoher Präzision. Das Photolackversorgungssystem ist das Herzstück der Einheit und ermöglicht eine gleichmäßige und gleichmäßige Beschichtung des Photolacks auf dem Substrat. Es ist auch in der Lage, die Dicke der Photolackschicht auf der Grundlage der Bedürfnisse des Benutzers einzustellen. Die Wafer-Handhabungsmaschine sorgt für eine genaue Bewegung und Positionierung des Substrats, während der Mustergenerator es dem Benutzer ermöglicht, die zu ätzenden Muster zu definieren. Das Laserausrichtungsmerkmal gewährleistet eine präzise Platzierung der Muster und der Autofokusmechanismus sorgt dafür, dass der gesamte Wafer der gleichen UV-Lichtbelichtung ausgesetzt ist. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON ACT12 Tool über ein intuitives Software-Steuerprogramm, das die einfache Verwaltung und Programmierung von Prozessabläufen ermöglicht. Damit ist das Asset ideal für automatisierte Fertigungsvorgänge. Die Software verfügt über eine integrierte Bibliothek mit Prozessparametern, die je nach Prozessanforderungen angepasst werden können. Es enthält auch Sicherheitsfunktionen, die den Benutzer auf Fehler oder Probleme im Prozess aufmerksam machen. Insgesamt ist TEL ACT12 Modell eine ausgezeichnete Wahl für alle, die nach einer kostengünstigen Photolackausrüstung mit fortschrittlichen Prozessfähigkeiten und Benutzerfreundlichkeit suchen. Die robusten Hardwarefunktionen des Systems gewährleisten eine konsistente und genaue Prozesskontrolle, während das intuitive Software-Steuerungsprogramm eine reibungslose Bedienung und Wartung ermöglicht.
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