Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9290880 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung für die Mikroherstellung. Das System ist eine fortschrittliche Technologie zur Verarbeitung von Fotoresistenzen, mit der Kunden Halbleiterbauelemente mit unübertroffener Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Geschwindigkeit herstellen können. Es besteht aus mehreren Komponenten, darunter eine UV-Quelle, automatische Belichtungssteuerung und automatische Ausrichteinheit. Die UV-Quelle ist eine hochenergetische Xenon-Lichtbogenlampe, die UV-Licht emittiert, das verwendet wird, um das Muster auf dem Photolack zu belichten. Das emittierte Licht wird durch eine Spiegellinse fokussiert und auf den Wafer gerichtet. Die automatische Belichtungssteuerung überwacht und passt die Lichtintensität an, um eine konsistente Belichtung zu gewährleisten. Die automatische Ausrichtungsmaschine verwendet einen erweiterten Laserscanner, um das Muster auf dem Fotolack zu erkennen. Der Scanner berechnet dann die Position und Orientierung des Fotolacks relativ zur Maske und passt die Ausrichtung entsprechend an. Dadurch wird sichergestellt, dass das belichtete Muster auf dem Photolack genau und wiederholbar ist. Sobald die Belichtung abgeschlossen ist, wird der Photolack entwickelt. Aceton wird normalerweise verwendet, um die belichteten Teile des Photolacks zu entfernen und ein Muster zu hinterlassen. Dieses Muster wird dann als Schablone zum Ätzen des Substrats verwendet. TEL ACT 12 ist ein leistungsstarkes und präzises Photolackwerkzeug, das kleine Geräte mit komplexen Features verarbeiten kann. Mit Funktionen wie UV-Quellen, automatischer Belichtungssteuerung und automatischer Ausrichtung ermöglicht es Kunden, Halbleiterbauelemente mit unübertroffener Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu produzieren. Darüber hinaus ist das Modell mit einer Vielzahl von Substraten und Resists kompatibel.