Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9315813 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Verarbeitung von Chemikalien, die bei der Herstellung von Mikrochips verwendet werden. Es ist für den Einsatz von Photolacken auf Halbleiterscheiben konzipiert und verfügt über hochpräzise Mess- und Steuerungssysteme. TEL ACT 12 verwendet ein Substrattransportsystem, das zur Übertragung von Halbleiterscheiben in der gesamten Einheit ohne den Einsatz mechanischer Aufnahmewerkzeuge verwendet wird. Dies ermöglicht eine präzisere Kontrolle des Prozesses und gewährleistet gleichmäßig hohe Qualitätsergebnisse für jede Charge von Wafern, die die Maschine durchlaufen. Das Photolackwerkzeug besteht aus mehreren unterschiedlichen Modulen, die jeweils für unterschiedliche Stufen des Waferherstellungsprozesses verantwortlich sind. Ein Heizmodul wird verwendet, um die Wafer bei genauen Temperaturen und Zeiten zu erwärmen, um sicherzustellen, dass der Photolack gleichmäßig und vollständig aufgebracht wird. Ein weiteres Modul wird verwendet, um Entwicklerchemikalien zu mischen und abzugeben, um den Photoresist entsprechend zu entwickeln, und enthält auch präzise Sicherheitsmaßnahmen, um sicherzustellen, dass Gefahren, die mit extrem potenten Chemikalien verbunden sind, sehr gering sind. Das Asset verfügt auch über ein Steuermodul, das verwendet wird, um jede Stufe des Photoresist-Anwendungsprozesses zu konfigurieren. Durch dieses Modul ist es möglich, ein vorgegebenes Rezept optimal zu konfigurieren und sicherzustellen, dass genaue Konzentrations-, Dispergier- und Sicherheitsüberwachungsmaßnahmen auf die Bedürfnisse des Kunden zugeschnitten sind und keine Gefahrensituationen durch falsche Dosen oder Konzentrationen entstehen. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON ACT12 mit einem geschlossenen Schleifenmodell ausgelegt, das eine Echtzeit-Überwachung und Aufzeichnung der verschiedenen Parameter ermöglicht, die jeder Stufe des Photolackprozesses zugeordnet sind. Dies bietet eine zusätzliche Möglichkeit der Sicherheitskontrolle für die Benutzer, um sicherzustellen, dass etwaige Unregelmäßigkeiten in der Ausrüstung sofort behoben werden, während mögliche Schäden an den Wafern vermieden werden. Schließlich ist das System äußerst kompakt und platzsparend ausgelegt, so dass mehrere dieser Maschinen in begrenzten Bereichen installiert werden können, wobei andere Prozesse oder Ausrüstungssätze minimal unterbrochen werden. Dies macht es zu einer idealen Option für Kunden, die ihre Verarbeitungsfunktionen maximieren möchten, ohne auf wertvolle Bodenfläche zu verzichten. Darüber hinaus garantiert die geschlossene Art von ACT 12, dass alle Prozesse genau überwacht werden, wodurch ein unbefugter Zugriff oder eine Störung durch externe Quellen verhindert wird.