Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9358605 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die bei der Herstellung fortschrittlicher integrierter Schaltungen verwendet wird. Es besteht aus einer Lichtquelle, einer Optik, einem Sprühabgabesystem, Steuerungen und Software. Die Lichtquelle ermöglicht eine genaue Belichtung des Photolackmaterials, das dann von der Sprühabgabeeinheit auf einen Wafer abgegeben wird. Der Controller und die Software sorgen für die Steuerung und Überwachung der Maschine und ermöglichen die Programmierung von Belichtungsparametern, die Anwendung des Fotolacks sowie die Gerätediagnose. Die Lichtquelle basiert auf stroboskopischer Beleuchtung und weist eine Elektronenstrahldiode auf. Der Elektronenstrahl passiert den Strahlemitter, dann die Linse und schließlich die Schlitzblende. Dadurch wird die Belichtung verbreitert und eine gleichmäßige Lichtverteilung erreicht. Die Optik soll ein sehr gleichmäßiges Beleuchtungsmuster auf dem Wafer gewährleisten. Die Optik enthält einen Farbfilter und eine Blendenmaske, die die Tiefenschärfe optimieren und die Gleichmäßigkeit verbessern. Das Sprühausgabewerkzeug verwendet eine Kombination aus Druckimpulsen und Niederspannungs-Hochfrequenz erzeugten elektrischen Feldern. Dies ermöglicht eine gleichmäßige, genaue und wiederholbare Abdeckung des Photolackmaterials auf den Wafer. Die Controller und Software steuern den Betrieb des Assets, so dass der Benutzer Belichtungsmuster festlegen oder den gesamten Prozess programmieren kann. Die Software generiert auch eine Bildschirmdiagnose, die dem Benutzer Feedback zum Zustand des Modells und der Komponenten sowie zur Analyse des resultierenden Bildes gibt. Zusammenfassend ist TEL ACT 12 eine hochpräzise und effiziente Methode zur Herstellung komplexer integrierter Schaltungen. Durch die Kombination von Lichtquelle, Optik, Sprühdosiersystem, Reglern und Software ist das Gerät in der Lage, qualitativ hochwertige und konsistente Ergebnisse zu liefern.