Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9384924 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die von TEL Limited (TOKYO ELECTRON) aus einer Kombination von Lichtquelle, Photomaske und Projektionsoptik entwickelt wurde. Es ist ein großflächiges Registrierungs- und Mustersystem, das vor allem in der Halbleiterindustrie zur Herstellung integrierter Schaltungen eingesetzt wird. Die Einheit besteht aus drei Hauptkomponenten, darunter eine optische Maschine, ein Substrattisch und ein Steuerwerkzeug. Das optische Asset hat zwei Hauptkomponenten: ein Lichtquellenmodul und ein Projektionsobjektiv. Das Lichtquellenmodul besteht aus Quellen wie einem kurzwelligen Excimerlaser, einem Gaslaser und einer Beleuchtungslampe. Die im optischen Modell verwendeten Projektionsobjektive sind so konzipiert, dass sie die höchste Bildqualität zum präzisen Kopieren von Mustern auf die Substrate bieten. Zur präzisen Positionierung des Wafers unter der Projektionslinse wird eine hochpräzise 5-Achsen-Substratstufe verwendet. Die 5-Achsen-Stufe bietet hohe Stabilität und hohe Präzision, um die minimalen Mustermerkmale zu unterstützen, die in den neuesten Technologien aufgelöst werden können. Das Steuergerät basiert auf einer Windows-Betriebssystem-Plattform, die eine benutzerfreundliche Bedienung ermöglicht. Es umfasst automatische Ausrichtungsfunktionen sowie andere ausgefeilte Mustersteuerungsfunktionen. Das System kann verwendet werden, um sich wiederholende Muster durch die Verwendung einer einzigen Fotomaske zu erzeugen. Alternativ kann die Einheit mehrere nacheinander orchestrierte Photomasken für komplexere Muster verwenden. TEL ACT 12 ist für die Serienproduktion mit hohem Durchsatz, niedrigen Kosten, Zuverlässigkeit und Wartbarkeit konzipiert, die es dem Unternehmen ermöglicht, seinen Kunden ein effizientes und effektives Werkzeug zur Umwandlung ihrer Designs in physische Geräte anzubieten. Die Maschine eignet sich für die Erstellung einer Vielzahl von Komponenten, einschließlich HF-Komponenten, Dünnschichttransistoren, Speicherchips und komplexe Prozessordesigns. Da seine minimale Breite bis zu 7 nm erreichen kann, eignet es sich für die Herstellung von Bauteilen, die schematische und mikromachinierte Muster auf einer einzigen Matrize erfordern. Zusammenfassend ist TOKYO ELECTRON ACT12 ein fortschrittliches Photoresist-Tool, das aus hochpräzisen optischen Komponenten, einer 5-Achsen-Substratstufe und einem ausgeklügelten Steuerungsinstrument besteht. Mit seiner hervorragenden Leistung und hoher Qualität ist das Modell ideal für die Herstellung von Komponenten, die Miniatur- und komplizierte Muster erfordern, was es zu einem unschätzbaren Werkzeug für die Halbleiterindustrie macht.