Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9113642 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist ein Photoresist-Gerät zur Strukturierung von Dünnschichtoberflächen. Es ist für die Präzisions-Lithographie-Verarbeitung in der Forschung und Entwicklung von Halbleiterbauelementherstellung, für die Herstellung von komplexen Nanostrukturen mit kleinen Merkmalsgrößen und hoher Wiederholbarkeit konzipiert. Das System ist mit einer 8-Zoll-Winkel-kompensierten Projektions-Lithographie (ACPL) -Einheit ausgestattet, die eine Abbildung auf eine breite Palette von Substratmaterialien ohne Verzerrung oder Verformung des Musters ermöglicht. Es verfügt über eine fortschrittliche optische Maschine, die spezialisierte Linsen und digitale Verarbeitungsalgorithmen kombiniert, um eine breite Palette strukturierter Muster in hoher Auflösung genau zu projizieren. Das Tool basiert auf einer für die Interoperabilität mehrerer Parteien optimierten Plattform, die die Integration mit einer Reihe von Substratsockeln, Prüfstandsausrüstungen und Robotersystemen ermöglicht. Dieses integrierte Asset kann anspruchsvolle, hochpräzise bildgebende Lösungen in Bereichen wie Mikrooptik, mikrophotonische Geräte und Muster bis in den Nanometermaßstab liefern. TEL ACT 8 ist auch in der Lage, Debugging mit integrierter in-situ Bildauswertung zu verarbeiten. Diese Feedback-Schleife von der Musterung bis zum Ergebnis ermöglicht eine schnellere Optimierung des Musterprozesses. Die Entfernung von Restrestschichten und anderen abgeschiedenen Materialien wird mit einem naßchemischen Reinigungsmodell erreicht. Das Gerät ist auch mit einer Reihe von anwendungsorientierten Funktionen ausgestattet, einschließlich fortschrittlicher Mustertechniken wie Graustufenlithographie, maskenlose Lithographie und direktionaler selektiver Exposition. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON ACT 8 ein leistungsfähiges, zuverlässiges Photolacksystem für fortschrittliche Mustertechnologien bei kleinen Funktionsgrößen. Das integrierte Design und die verbesserten Anwendungsschwerpunkte des Geräts sorgen für hohe Wiederholgenauigkeit, Flexibilität und einfache Handhabung der Anwender.