Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9121685 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung zum Ätzen, Belichten, Ausrichten und Entwickeln von Photomasken oder Photomasken, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Es ist ein fortschrittliches Photolithographiesystem mit einer ausgeklügelten mikroprozessorgesteuerten Schritteinheit. Das fortschrittlichste Merkmal von TEL ACT 8 ist seine Fähigkeit, die Photomaske in Bezug auf den Wafer genau auszurichten. Die Maschine ermöglicht eine genaue und wiederholbare Ausrichtung mit einer Genauigkeit von +/- 2 Mikrometern. Dadurch wird sichergestellt, dass jedes Muster, das auf dem Wafer freigelegt wird, genau auf der Maske registriert wird. Das Tool verfügt außerdem über einen hochmodernen mehrstufigen Belichtungswert, der schnelle und genaue Belichtungen ermöglicht. Das Modell umfasst einen Resist-Spinner und einen 10.000 U/min-Spinner, der von einem Präzisions-Mikroprozessor gesteuert wird. Dies ermöglicht eine genaue, wiederholbare und gleichmäßige Abscheidung von Resistmaterial. TOKYO ELECTRON ACT 8 verfügt auch über ein sehr genaues, wiederholbares Vakuumfutter. Dadurch kann der Wafer ohne Verrutschen festgehalten werden, eine Verschmutzung der Waferoberfläche wird verhindert. Das Gerät umfasst eine Lichtquelle, entweder DUV (Deep Ultraviolet) oder IR (Infrarot), die es ermöglicht, bestimmte Wellenlängen des Lichts für die Belichtung verwendet werden. Ebenfalls enthalten ist ein Prozessgas-Handling-System, das während des Entwicklungsschritts zur chemischen Asche sowie zur Steuerung von Atmosphäre und Temperatur während des Ätz- und Entwicklungsprozesses eingesetzt werden kann. Die Belichtungs- und Entwicklungseinheit verfügt über eine hochauflösende Kamera, die eine Beobachtung des Entwicklungsprozesses in Echtzeit ermöglicht sowie eine Durchblickansicht ermöglicht, so dass auch bei kleinen Merkmalsgrößen der Belichtungs- und Entwicklungsprozess für das gewünschte Ergebnis optimiert werden kann. TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist auch in der Lage, die Umgebungsbedingungen innerhalb der Verarbeitungskammer einschließlich Temperatur, Feuchtigkeit, Gasstrom und Druckmessung zu überwachen. Dies gewährleistet konsistente Prozessergebnisse und ist ein wichtiges Merkmal für viele Prozesse, die präzise Umgebungsbedingungen erfordern. ACT 8 ist eine zuverlässige Photolithographie-Einheit mit genauer, wiederholbarer Ausrichtung und einer anspruchsvollen automatisierten Belichtungs- und Entwicklungsmaschine. Sein vollautomatischer Betrieb macht es zu einer idealen Wahl für jede Produktionsumgebung.