Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9142704 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9142704
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
(2) Coaters / (2) Developers system, 8" 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die bei der Herstellung von elektronischen Geräten wie integrierten Schaltungen (ICs), Anzeigetafeln und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) verwendet wird. Das System basiert auf einer Mustertransfertechnologie und wird verwendet, um Präzisionsmuster auf der Oberfläche eines Substrats zu erzeugen. Es besteht aus einem digitalen Maskenschreiber, Belichtungseinheit, Fotoresist, Entwickler, Ätzmittel und Beschichtungseinheiten. Die Einheit optimiert den Prozessfluss und vereinfacht den Lithographieprozess. Der digitale Maskenschreiber wird verwendet, um das Maskenmuster zu erstellen, das auf das Substrat übertragen wird. Diese Maske wird dann entweder von einer ultravioletten (UV) Quelle oder einer Elektronenstrahlquelle (EBS) Lichtquelle beleuchtet. Die Intensität des Lichts kann eingestellt werden, um unterschiedliche Belichtungstiefen zu ermöglichen. Die Belichtungseinheit ist so konzipiert, dass sie eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Musterübertragung bietet. Es enthält einen Präzisionsmaskenhalter sowie einen kontrastreichen Beleuchter und einen einstellbaren UV-Beleuchter, der dem Benutzer die ultimative Kontrolle über den Belichtungsprozess gibt. Der Photolack ist ein Polymer, das speziell entwickelt wurde, um die Strahlung zu absorbieren und ihre Eigenschaften zu ändern. Es wird löslich, wenn es den entsprechenden Wellenlängen von UV-Licht oder einem EBS ausgesetzt wird. Nach Erreichen der gewünschten Belichtungswerte ist der Photolack zum Waschen oder Eintauchen in den Entwickler bereit, um unbelichtete Stellen zu entfernen. Der Entwickler ist eine Lösung zum Ätzen und Formen der Oberfläche des Substrats. Der Entwickler muss ständig gewartet und überwacht werden, um sicherzustellen, dass der Fotolack nicht überbelichtet wird. Das Ätzmittel wird dann verwendet, um das Substrat zu schneiden, zu formen und zu glätten. Es funktioniert, indem es jeden belichteten Bereich auf dem Substrat entfernt. Der Ätzvorgang kann auf die gewünschte Breite und Tiefe präzise eingestellt werden. Schließlich kann die Beschichtungseinheit verwendet werden, um eine Metall- oder Legierungsbeschichtung auf einer beliebigen freiliegenden Fläche auf dem Substrat hinzuzufügen. Die Beschichtung wird in einem einzigen belichteten Bereich aufgebracht, um die gewünschte Form und Größe zu erreichen. Abschließend ist TEL ACT 8 Photolackmaschine ein ideales Werkzeug, um genaue und präzise Muster auf der Oberfläche eines Substrats zu erzeugen. Es verfügt über einen digitalen Maskenschreiber zum schnellen und einfachen Erstellen eines Maskenmusters, eine einstellbare UV/EBS-Lichtquelle zum Erreichen der gewünschten Belichtungstiefe, eine Photolackstufe zum Sicherstellen der korrekten Belichtung des Musters und eine Entwicklerätz- und Platerstufe zum Hinzufügen einer beliebigen Beschichtung. Dieses umfassende Tool ermöglicht eine schnelle, genaue und zuverlässige Musterübertragung, um sicherzustellen, dass die Geräte perfekt aussehen.
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