Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9142710 zu verkaufen
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ID: 9142710
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2006
(4) Coater / (3) Developer system, 8"
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung für den Einsatz in verschiedenen lithographischen Prozessen. Dieses System dient zur optischen Belichtung eines Photolackmaterials mit ultraviolettem (UV) oder extremem ultraviolettem (EUV) Licht, was die Bildung von Mustern im Photolack ermöglicht. TEL ACT 8 verwendet eine Projektionsoptik, die bestimmte Merkmale des Musters im lichtempfindlichen Material effektiv vergrößert. Die Photolackeinheit umfasst eine Projektionsmaske, die Muster, eine Projektionslinse und verschiedene optische Komponenten enthält, um UV- oder EUV-Licht auf das lichtempfindliche Material zu lenken. Die Projektionsoptik bietet eine hohe Auflösung und Genauigkeit bei der Belichtung des Photolackmaterials. Diese Maschine kann mit verschiedenen Maskenausrichtern und Steppern verwendet werden, was eine breite Palette von Leistungsmerkmalen ermöglicht. Darüber hinaus kann TOKYO ELECTRON ACT 8 für eine Vielzahl von Operationen verwendet werden, einschließlich Mustertransfers und Ausrichtungsregistrierungen. Es kann auch eine Reihe von Entwicklungsprozessen in Verbindung mit dem Photolackwerkzeug verwendet werden. Darüber hinaus kann die Anlage mit einer Reihe von Temperatur- und Druckeinstellungen verwendet werden, wodurch Prozesse für die gewünschten Ergebnisse optimiert werden können. Dieses Photoresist-Modell ist zuverlässig und einfach zu bedienen, so dass es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist, einschließlich Halbleiter-Photolithographie, Flachbildschirm-Produktion und optische MEMS-Herstellung. Das Gerät ist auch mit einer Vielzahl von Substraten, wie Silizium, Quarz und Glas kompatibel. ACT 8 ist in verschiedenen Größen und Konfigurationen erhältlich, um den unterschiedlichen Anforderungen der verschiedenen Branchen gerecht zu werden. Das Photoresist System erfüllt verschiedene internationale Qualitätsstandards und Sicherheitsprotokolle und ist somit für verschiedene kritische Anwendungen geeignet. Das Gerät kann mit einer Reihe von Zubehör wie Wafer Handling und Roboterarme verwendet werden, um seine Funktionalität zu verbessern. Die Maschine verfügt auch über ein integriertes Datenlogging-Tool zur komfortablen Verfolgung von Asset-Performance und Betriebsdaten. Insgesamt ist TEL ACT 8 ein zuverlässiges und genaues Photolackmodell, das für den Einsatz in verschiedenen lithographischen Prozessen konzipiert ist. Es ist einfach zu bedienen und kann mit einer Reihe von Maskenausrichtern, Steppern und Entwicklungsprozessen verwendet werden. Das Gerät ist für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet und in verschiedenen Größen und Konfigurationen erhältlich.
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