Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9145487 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine photoresist (chemisch aktive) Ausrüstung, die bei der Herstellung integrierter Schaltungen unterstützt. Dieses System verwendet lichtempfindliche Chemikalien oder Photoresist, um präzise Bilder auf der Oberfläche eines Halbleitersubstrats zu erzeugen. Photoresist ist eine Art lichtempfindliches Material, das Chemikalien enthält, die auf Licht reagieren. TEL ACT 8 umfasst ein Photolackmodul, ein Ausrichtmodul und eine UV-Belichtungslichtquelle. Das Photolackmodul dient dazu, den Photolack auf der Waferoberfläche gleichmäßig zu verteilen, um eine Schicht zu schaffen, die für den nachfolgenden belichteten Abbildungsprozess geeignet ist. Das Ausrichtmodul ist auf der Mikroskopstufe montiert und enthält mehrere Waferausrichtmechanismen. Der Ausrichtmechanismus führt den Wafer in bestimmte Positionen für eine ordnungsgemäße Abbildung. Die UV-Belichtungslichtquelle ist ebenfalls auf der Mikroskopstufe montiert. Es verwendet UV-Licht, um den Photolack zu belichten, die Chemie zu aktivieren und das Muster zu erzeugen, das auf das untere Substrat übertragen wird. Diese Lichtquelle hat die Fähigkeit, hochauflösende Bilder mit Funktionsgrößen bis zu 5nm zu erstellen. Nachdem der Fotolack belichtet wurde, wird ein Verarbeitungsmodul zur Entwicklung des Bildes verwendet. Dieses Modul ätzt den unbelichteten Fotolack weg und zeigt das Muster darunter. Nach Beendigung des Abbildungsprozesses werden weitere Verarbeitungsschritte zur Vervollständigung der Schaltung durchgeführt. Dazu können Backen, Ätzen und Abscheiden gehören. TOKYO ELECTRON ACT 8 Maschine ist sehr zuverlässig, mit einer Verarbeitungsrate von bis zu 180 Wafer pro Stunde. Darüber hinaus ist es in der Lage, Muster bis zu 5 nm Merkmalsgröße zu produzieren. Dieses Werkzeug ist in der Halbleiterherstellung weit verbreitet, um Hochleistungsschaltungen mit einer hohen Ausbeute zu produzieren.