Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9213368 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9213368
Wafergröße: 6"
Coater / Developer system, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine hochmoderne Photoresist-Ausrüstung, die sich ideal für den Einsatz in der Halbleiterbauelementherstellung eignet. Dieses System kombiniert fortschrittliche Technologie mit Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit, um Prozesskonsistenz zu gewährleisten und den Ertrag zu verbessern. Die Einheit beginnt mit einem Substrat, das dann mit einem photoempfindlichen Resistmaterial beschichtet wird, das als Photoresist bekannt ist. Nach der Beschichtung wird der Resist ultraviolettem Licht ausgesetzt, das die belichtete Fläche polymerisiert. Dieser belichtete Bereich wird dann unempfindlich gegen einen nachfolgenden chemischen Ätzvorgang, der die unbelichteten Bereiche entfernt. TELEFONGESETZ 8 verwertet eine Sieben-Achsen-Bewegungskontrollmaschine, um Aussetzungsdosisraten genau zu dosieren und zu kontrollieren. Dies ermöglicht eine hochauflösende Strukturierung und verbesserte Prozessausbeute. Das gesamte Werkzeug kann in eine Vielzahl von Geräteherstellungsprozessen integriert werden. Im Rahmen dieser Integration bietet die Steuerungssoftware eine Bedienoberfläche, die die Bedienung und Rezepterstellung erleichtert und zuverlässiger macht. Das Asset verfügt auch über ein erweitertes Bildgebungsmodell. Dies ermöglicht eine genaue Bestimmung der Ätzprofile und die anschließende Auswertung der Daten aus den Prozessen. Diese ausgeklügelte Abbildungseinrichtung sorgt dafür, dass der Resist kontrolliert entfernt wird, was eine präzise Steuerung des nachfolgenden Geräteherstellungsprozesses ermöglicht. TOKYO ELECTRON ACT 8 bietet alle Funktionen, die für eine zuverlässige Photolackverarbeitung erforderlich sind. Dazu gehören automatisierte Wafer-Handhabung, Expositionsdosiskontrolle, Strukturierung, Ätzen und Bildgebung. Dadurch wird eine effektive Prozesssteuerung erreicht und eine Prozesskonsistenz gewährleistet, die zu einer verbesserten Geräteausbeute führt. TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist ein komplettes Lösungssystem für Photoresistprozesse. Diese fortschrittliche Einheit verfügt über moderne Technologie und zuverlässige Operationen, um einen konsistenten und effizienten Prozess zu gewährleisten. Diese Maschine ist sicher, erhebliche Vorteile für Gerätehersteller und Benutzer gleichermaßen zu bringen.
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