Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9229569 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9229569
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
Coater / Developer system, 8" 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung der TEL Corporation und gehört zu den fortschrittlicheren Photoresist-Werkzeugen, die von Unternehmen der Halbleiterindustrie verwendet werden und präzise Tief-UV-Lichtbelichtungsfähigkeiten erfordern. TEL ACT 8 System ist entworfen, um sehr stabile, einheitliche und kontrollierbare Belichtung von Materialien, die Deep-UV-Licht-Belichtung wie Silizium-Wafer, Lithographie-Testmasken und Resistmaterialien erfordern zu bieten. Das Gerät ist mit einer Belichtungskammer ausgestattet, die aus einer hochauflösenden Quecksilberdampflampe besteht und mit Reflexionsbelichtungsverfahren für optimale Belichtungsergebnisse sorgt. Die Maschine TOKYO ELECTRON ACT 8 umfasst ein automatisiertes Steuerwerkzeug, das eine genaue Fokussierung und Ausrichtung ermöglicht, Belichtungsprozesse überwacht und während des Belichtungsprozesses Rückmeldungen und Korrekturen während des Belichtungsprozesses bereitstellt. Diese Belichtungssteuerung ist auch mit einem optischen und UV-Intensitätssensor ausgestattet und kann optimale Belichtungszeiten, Brennpunkte und Belichtungsergebnisse erkennen. Das Modell kann mit einem optischen Verschlussmechanismus konfiguriert werden, so dass mehrschichtige Widerstände mit glatten und sogar Übergängen belichtet oder mit mehreren Resistschichten kombiniert werden können, bevor sie belichtet werden. Dies ermöglicht es Benutzern, komplexere Muster mit optischer Ausrichtung und genauer übertragenen Mustern mit stark reduzierten Unebenheiten und Formvariationen zu erreichen. Die ACT 8-Ausrüstung enthält auch ein Substrat-Vorbacken-Merkmal, das sicherstellt, dass das Substrat vor der Einwirkung auf das Tief-UV-Licht vorgebacken wird. Auf diese Weise kann sichergestellt werden, dass die exponierten Materialien vor der Exposition ordnungsgemäß verklebt und gut vorbereitet werden. Die Pre-Bake-Funktion hilft auch, die Aushärtungszeiten für Belichtungsmaterialien zu reduzieren und sicherzustellen, dass der Belichtungsprozess schneller und zuverlässiger ist. Insgesamt ist das TOKYO ELECTRON ACT 8 System eines der fortschrittlicheren Photolacksysteme der Branche. Es ist mit fortschrittlichen Funktionen und ausgezeichneter Präzision entworfen, um überlegene Tief-UV-Licht-Belichtungsfähigkeit zu gewährleisten. Die Belichtungssteuereinheit, die Vorbackfunktion und der Verschlussmechanismus machen die Maschine zu einer zuverlässigen und hochgradig anpassbaren Lösung für Unternehmen, die wiederholbare und zuverlässige Photoresist-Verarbeitungsfunktionen benötigen.
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