Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9235231 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9235231
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2010
System, 8" 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung, die für die Bereitstellung von Photolithographie- und Photohärtungsdiensten für fortschrittliche mikroelektronische Prozessanwendungen entwickelt wurde. Das System kombiniert eine hochgenaue optische bildgebende Ausrichtungstechnologie, eine fortschrittliche Bildverarbeitung und präzise Automatisierungssteuerungstechnologien, um den Photolithographieprozess mit höchster Präzision zu optimieren. Eine erweiterte optoelektronische Abbildungseinheit dient zur Ausrichtung und Überwachung der Belichtung von Substraten auf den Fotoresistfilm. Die Maschine überprüft das Substrat, um die Ausrichtung zu überprüfen und die freizulegenden Bereiche zu bestimmen. Der optische Abbildungsprozess nutzt Laserinterferenz- oder Abbildungssensoren, um eine präzise Ausrichtung des Substrats und des Fotoresistfilms durchzuführen. Das Onboard-Imaging-Tool ermöglicht die Anpassung der photolithographischen Belichtung und gewährleistet die beste Bildqualität unabhängig von Prozessvariationen oder Substrattyp. Die Anlage wurde entwickelt, um hochauflösende Bilder mit minimaler Exposition gegenüber photohärtenden Chemikalien zu erzeugen. Um dies zu erreichen, verfügt das Modell über eine hocheffiziente, rauscharme CCD (Charge-Coupled Device) -Bildgebungstechnologie, die schnell eine große Anzahl von Bildern mit einem hohen Kontrastverhältnis aufnehmen kann. Die CCD-Bildgebungstechnologie reduziert zudem das Rauschen und ermöglicht eine effiziente Belichtungssteuerung. Die Photolackausrüstung verfügt zudem über eine breite Palette von Automatisierungs- und Prozesssteuerungsfunktionen. Es verfügt über eine große Datenbank von Rezepten, die eine einfache Anpassung des Photolackrezepts ermöglichen und ein hohes Maß an Flexibilität bei der Verwaltung der Photolackbelichtung bieten. Das automatisierte System verfügt auch über eine Selbstdiagnosefähigkeit, die Fehler im Photolackmaterial erkennen und Probleme durch Photolithographiefehler lösen kann. Um die absolute Genauigkeit der Photolackeinheit zu gewährleisten, ist die Maschine mit einem automatisierten Substratinspektionswerkzeug ausgestattet, das in der Lage ist, die Spezifikationen und das Qualitätsniveau der Fotolackfolie zu messen. Das Asset kann auch automatisch Unregelmäßigkeiten im Fotoresist-Film erkennen und Korrekturmaßnahmen bereitstellen, die eine gleichbleibende Qualität über alle Prozesse hinweg gewährleisten. Zusammenfassend ist TEL ACT 8 Modell eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung mit hochpräziser optischer Ausrichtung, fortschrittlicher CCD-Bildgebung und verbesserter Prozesskontrolle, um hochgenaue photolithographische und photohärtende Dienste für mikroelektronische Prozessanwendungen bereitzustellen. Die Genauigkeit, Effizienz und Anpassungsfähigkeit des Systems machen es zu einer idealen Wahl für die fortschrittlichsten mikroelektronischen Anwendungen.
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