Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9241917 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 (TEL/TE TEL ACT 8) ist eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung, die bei der Herstellung hoch anspruchsvoller integrierter Schaltungen, insbesondere in der Halbleiter- und Nanotechnologie, eingesetzt wird. Die Photoresist-Technologie des Systems ermöglicht es integrierten Schaltungsherstellern, Muster und Funktionen mit sehr geringen Linienbreiten und CD-Toleranz zu erstellen. Das Hauptmerkmal von TOKYO ELECTRON ACT 8 ist seine hochauflösende Fähigkeit, die von seinen fortschrittlichen Fotolack- und Maskenausrichtern abhängig ist. Seine Photolackeinheit arbeitet durch wiederholtes Beschichten eines Wafers mit Photolack und Abbrennen asymmetrisch definierter Bereiche. Dies ermöglicht die präzise Erstellung von Gräben, kleinen Vias, Taschen und kleinen Winkeln. Die andere Kernkomponente von ACT 8 ist ihr Maskenausrichter. Dieses Gerät kann Photoresist und Wafer schnell und genau ausrichten und ermöglicht die präzise Übertragung von Photomasken-Mustern auf den Photoresist. Es ermöglicht auch schnelle Veränderungen in Maskenmustern und Photolackbeschichtungen. Die Maschine von ACT 8 beinhaltet auch erweiterte bildgebende und messtechnische Funktionen und bietet ein Mittel, um die Eigenschaften von Photoresist-Merkmalen zu untersuchen. Dazu gehören optische Messung, automatische Abtastung und Röntgeninspektion, die eine genaue Beobachtung der kleinsten Merkmale des Wafers ermöglichen. Zusätzlich verwendet das Werkzeug einen Überdruck von Null-Länge, um die Verzerrung stehender Wellen zu reduzieren. Diese Fähigkeit erhöht die Auflösung der Anlage durch Verringerung des Stehwellenrauschens, was zu einem höheren Kontrast zwischen den feinen Strukturen führt. TELEFON / ELEKTRONGESETZ 8 von TOKIO bietet mehrere andere Eigenschaften, wie ein Howirksamkeitsflüssigkeitsschnittstellenüberzugmodell, Deep Reactive Ion Etching (DRIE) und das Oxydätzen. Darüber hinaus liefert die Precision Process Monitoring (PPM) -Ausrüstung Echtzeitdaten über Prozesszustände, die eine präzise Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit ermöglichen. Schließlich ist TOKYO ELECTRON/TE TOKYO ELECTRON ACT 8 so konzipiert, dass es eine optimale Umgebung für die Verarbeitung von Wafern nahe der Spulenoberfläche bietet. Dies sorgt für hochwertige Prozessergebnisse und Wiederholbarkeit. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON/TE TEL ACT 8 ein fortschrittliches, hochauflösendes Photolacksystem, das für die Herstellung extrem anspruchsvoller integrierter Schaltungen entwickelt wurde. Seine fortgeschrittene Bildaufbereitung und Metrologiefähigkeiten, Howirksamkeitsflüssigkeitsschnittstellenüberzugeinheit, und PPM-Maschine, berücksichtigen genaue und repeatable Ergebnisse.