Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9251356 zu verkaufen
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ID: 9251356
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Coater / Developer systems, 8"
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine von TEL (TOKYO ELECTRON) entwickelte Photoresist-Ausrüstung, die für die Verarbeitung elektronischer Geräte entwickelt wurde. Es eignet sich für großflächige und feine Linienlithographie für Geräte wie Gateelektroden, Verbindungsmuster und Kontaktsteckerbildung. Das System umfasst eine Lichtquelle, eine Belichtungskammer und eine Belichtungssteuereinheit. Die Lichtquelle ist ein ultravioletter Excimerlaser mit hoher Leistung, der eine stabile Beleuchtung im tiefen UV-Bereich ermöglicht. Es ist in der Lage, ein optimiertes Belichtungsprofil mit einheitlicher Linienbreite und Höhe bereitzustellen, um ein genaues Drucken von Mustern zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt die Belichtungskammer über eine hochpräzise optische Maschine zur konsistenten Strukturierung. Die Kombination aus zwei Linsen, einem Kondensator und einer Projektionslinse, fokussiert eine hohe Lichteinstrahlung auf den Fotolack. Das Belichtungssteuerungswerkzeug ist ein vollautomatischer Prozess, der eine präzise Kontrolle der Dosis und Miniaturisierung von Mustern ermöglicht. Dies gewährleistet eine qualitativ hochwertige Musterbildung und überlegene Leistung gegenüber manuellen Operationen. Es ist mit einer benutzerfreundlichen GUI (Graphical User Interface) und einem programmierbaren Belichtungsparametermanagement integriert. Diese Funktion ermöglicht die Chargenverarbeitung und reduziert die Belichtungszeit und die Kosten weiter. Insgesamt ist TEL ACT 8 ein zuverlässiges und einfach zu bedienendes Photoresist-Asset. Seine Eigenschaften und Leistung ermöglichen eine hohe Präzisionsmusterbildung und minimierte Defekte. Das Modell kann für eine Vielzahl von Anwendungen wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen, die Verarbeitung von Dünnschichtbauelementen und die Herstellung von Leiterplatten verwendet werden.
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