Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9279593 zu verkaufen
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ID: 9279593
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
R Type
In-line
Block: 2
Hard Disk Drive (HDD)
Loader
Main controller type: Type #3
Coater:
(3) Nozzles
RRC Pump
(2) Buffer tanks: 3 L
Side rinse (EBR)
(2) Back side rinses
Developer:
H Nozzle type
(2) Buffer tanks: 3 L
(2) Rinse nozzles
(2) Back side rinses
(2) Adhesion process stations (ADH )
(12) Low temperature Hot Plate stations (LHP)
(2) High Temperature Hot Plate Process Station (HHP)
(8) Chiller Plate Place (CPL)
(4) Transition Stage (TRS)
(4) Chilling Hot Plate (CHP)
(2) Cup Washer Holder (CWH)
(2) Shuttle Module (SHU)
IFM
EIS Type: ASML
WEE
AC Power box
Chemical box
Temperature controller
T and H
MFC.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung für fortschrittliche Wafer-Level-Prozesse. Das System bietet hohe Flexibilität, Genauigkeit und Effizienz durch seine Kombination aus fortschrittlichen automatisierten Funktionen und manueller Bedienung. TEL ACT 8 umfasst mehrere integrierte Komponenten, darunter einen Rundfunksprüher, einen Fotolack, ein Modul und mehrere Revolversysteme. Das Sprühgerät, das zur Feinabstimmung des Photolacks verwendet wird, arbeitet nach einem schrittweisen Verfahren; zuerst den Photolack vormischen, dann mit dem kontrollierbaren Berstdruck und der Sprühgeschwindigkeit gleichmäßig über den Wafer sprühen. Von dort aus nutzt der Coater die eingestellte Sprühbreite und die Anzahl der Umdrehungen, um einheitliche Filmdicken zu erhalten - ein wichtiger Schritt in der hochauflösenden Verarbeitung. TOKYO ELECTRON ACT 8 Modul wird verwendet, um den Strahl des Werkzeugs zu erhitzen, auszurichten und zu fokussieren, bevor der programmierte Belichtungszyklus beginnt. Die Wärme- und Chemikalienbeständigkeit kann mit den hochmotorisierten optischen Behältern des Moduls feinjustiert werden, was auch dazu beiträgt, eine gleichmäßige Verarbeitungstemperatur aufrechtzuerhalten. Um Genauigkeit und Effizienz zu gewährleisten, sind die Revolversysteme für die nahtlose Integration zwischen Kamera und Projektor ausgelegt. Die einziehbaren Revolverarme erleichtern das schnelle und kostengünstige Wechseln von Modulen, während die Hochgeschwindigkeits-Autofokuseinheit die präzise Ausrichtung von Kameras und Projektoren über eine Reihe von Fotoresistmaterialien hinweg erleichtert. Insgesamt bietet ACT 8 Anwendern eine innovative Photolacklösung, die auf ein Höchstmaß an Genauigkeit und Effizienz ausgelegt ist. Die Maschine kombiniert fortschrittliche Automatisierungsfunktionen mit benutzerdefinierten Steuerelementen, die maximale Flexibilität und Zuverlässigkeit ermöglichen. Mit seinen unvoreingenommenen und wiederholbaren Ergebnissen optimiert TOKYO ELECTRON ACT 8 auch den Photoresist-Prozess, reduziert die Gemeinkosten und steigert die potenzielle Rendite.
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