Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9282700 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine Aphotoresistausrüstung, die den Entwicklungsprozess in Halbleitermaterialien kritisch steuern soll. Es ist ein Lithographiesystem, das integrierte Schaltungen und andere komplexe Materialien mit hoher Dichte, hoher Genauigkeit und hoher Ausbeute herstellen kann. Die Belichtungsstufe der Photoresist-Einheit TEL ACT 8 ist mit einer Kaltkathodenlampe (CCL) ausgestattet, die einen einzelnen Wafer gleichzeitig aufnehmen kann. Die von der Lampe abgegebene Energie wird in der Wafer Sensing Machine gemessen, um eine präzise Belichtung des Wafers zu gewährleisten. Die Kombination aus CCL und Wafer Sensing Tool versprechen eine präzise Belichtung, indem sichergestellt wird, dass alle Merkmale des Musters genau auf dem Substrat ausgerichtet sind. Die Fotoausrichtung ist zudem mit einem Autofokusmodell ausgestattet, das eine schnelle und genaue Ausrichtung auf die in der Waferprojektion verwendeten Retikel ermöglicht. TOKYO ELECTRON ACT 8 sorgt zudem für eine präzise Temperaturregelung der Wafer während des Entwicklungsprozesses. Dies gewährleistet die Konsistenz der Ergebnisse über die Chargen und Wafer und sorgt für eine höhere Ausbeute. Die eingesetzten Entwickler werden unter Verwendung mehrerer temperaturgesteuerter Zonen in einer streng kontrollierten Umgebung gehalten, die weiterhin die Haltbarkeit der Chemikalien und eine höhere Qualität des entwickelten Resists gewährleisten. TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist mit einer Tiefdruckentwicklungsstation, der D-Station, ausgestattet, die im Einklang mit den oben genannten Entwicklern arbeitet, um den entwickelten Halbleiterwafer genau zu färben. Die D-Station enthält mehrere Elemente, wie Träger, Entwickler und Zylinder. Dies ermöglicht eine präzise Entwicklung des Musters in den aktuell auf dem Halbleiter abgeschiedenen Resist. Schließlich ist ACT 8 auch mit einer Sprühkapsel für die Nachbelichtungsbackstufen des Entwicklungsprozesses ausgestattet. Dies erleichtert die Erweiterung des Prozessfensters durch Steuerung des Nachbelichtungsvorgangs. Insgesamt ist ACT 8 eine hochmoderne Photolackausrüstung, die für eine präzise Belichtung und Entwicklung bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen komplexen Materialien entwickelt wurde. Sein hochgenaues Belichtungssystem, temperaturgesteuerte Entwicklertanks, Tiefdruckentwicklungsstation und Sprühkapsel arbeiten alle zusammen, um hohe Erträge und eine hohe Genauigkeit im Entwicklungsprozess zu gewährleisten.