Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9283788 zu verkaufen
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ID: 9283788
Weinlese: 2009
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2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für die Photolithographie in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es ist ein Wafer-Schrittsystem, das ein resistives Entwicklungsprozess verwendet, um das Muster von einer Photomaske auf einen Silizium-Wafer zu übertragen. Die Einheit arbeitet, indem sie einen photoresistbeschichteten Wafer durch eine Photomaske dem Licht aussetzt und ein Bild auf dem Wafer erzeugt. Das Bild wird dann von der Scheibe auf eine resistive Entwicklungsschicht übertragen, die zur Bildung von Mustern in der Photolackschicht dient. Die Maschine ist in einem thermisch isolierten Gehäuse untergebracht und mit zwei Heizsystemen, einem temperaturgesteuerten Waferkühlwerkzeug und einer maßgeschneiderten Motorsteuerung ausgestattet. Es verwendet ein hochauflösendes Acht-Zoll-Koehler-hochauflösendes Autofokusmodell, um einen Halbleiterwafer genau zu mustern. Das Gerät ist in der Lage, Siliziumscheiben mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll und einer Bildauflösung von bis zu 4 Mikrometern zu handhaben. TEL ACT 8 nutzt eine breite Palette von Betriebsmodi, einschließlich Auflösungen, automatische Belichtungspegel und verschiedene Bildquellen, die eine Feinabstimmung ermöglichen, um die bestmöglichen Ergebnisse zu erzielen. Es ist auch mit einer Vielzahl von chemischen Materialien, Beschichtungsverfahren und Schutzmasken kompatibel. TOKYO ELECTRON ACT 8 wird durch eine intuitive und einfach zu bedienende Softwarelösung gesteuert. Das System bietet auch eine Reihe von grafischen Werkzeugen und interaktiven Funktionen, um die Bedienung der Einheit zu erleichtern und die Ergebnisse zu verbessern. Es ist für eine schnelle Einrichtung und Bedienung konzipiert und kann sowohl im manuellen als auch im automatischen Modus ausgeführt werden. ACT 8 bietet auch verschiedene Tracking-Optionen, darunter Belichtungskarten, Layer-by-Layer-Wafer-Mapping und automatische Layer-Platzierung. Es wird mit der automatisierten Pufferung entworfen, die schnelllaufend bietet, photowiderstehen Entwicklung mit dem minimalen Verlust der Geschwindigkeit. Der Autolader ermöglicht auch das schnelle Be- und Entladen von Wafern. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON ACT 8 eine leistungsstarke und vielseitige Photolithographie-Maschine für die Hochgeschwindigkeits-Waferbearbeitung. Es ist in der Lage, hochpräzise Muster mit minimalem Geschwindigkeitsverlust zu produzieren und bietet die ideale Lösung für fortschrittliche Lithographie-Anforderungen in der Halbleiterindustrie.
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