Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9285381 zu verkaufen
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ID: 9285381
Weinlese: 2002
(4) Coater / (4) Developer system
Open cassette
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Das System ist für die Abscheidung und Trockenätzung von Substratfolien bei der Herstellung integrierter Schaltungen ausgelegt. TEL ACT 8-Einheit verwendet eine fortschrittliche maskenlose Fotoresist-Maschine, die eine apertured Lasermaske verwendet, um eine hochauflösende Abbildung von Mustern auf einem fotosensitiven Substrat zu ermöglichen. Die Lochlasermaske ist einen festen Abstand oberhalb des Substrats angeordnet und wird sowohl in der Scan- als auch in der Belichtungsfunktion eingesetzt. Das Werkzeug ist mit einer Resistdüse integriert, die für die erforderliche Substratsputterbeschichtung sorgt und ein gleichmäßiges Aufbringen der Resistmaterialien ermöglicht. Das Asset hat eine hohe Auflösung für die Bildgebung. Das Modell verfügt über eine hochfrequente, modulationsbasierte Lasermotor, die hochauflösende, hochgenaue Bilder auf dem Substrat mit hoher Gleichmäßigkeit erzeugt. Diese Funktion sorgt für die erhöhte Genauigkeit des Musters und ermöglicht eine deutlich höhere Prozessausbeute. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON ACT 8 Photoresist-Geräte über eine optisch aktive Schichttechnologie, die eine Verbindung zwischen Folien und Isolatorschichten zur Herstellung von mehrstufigen Verbindungen ermöglicht. Diese Schichttechnologie bietet auch eine verbesserte Kontaktausbeute und Haftung. Das System verfügt auch über integrierte Automatisierung, die dazu beiträgt, die Zeit und Ressourcen für die Herstellung von integrierten Schaltungen zu reduzieren. Diese Automatisierung soll die Kosten für das Endprodukt reduzieren. Die Photolackeinheit TOKYO ELECTRON ACT 8 eignet sich für Hochtemperatur-Back- und Ätzanwendungen sowie für andere schwierige Prozessbedingungen. Es ist auch in der Lage, die neuesten Wafer-Technologien, wie Cu-AlN-Folien, und ermöglicht die Herstellung von komplexen Geräten. Insgesamt ist die Photolackmaschine ACT 8 ein fortschrittliches, leistungsstarkes Werkzeug, das sich ideal für die Herstellung und Produktion von Halbleiterbauelementen eignet. Das Asset verfügt über integrierte Automatisierung und verbesserte Auflösung der Bildgebung, die dazu beitragen, die Kosten für die Herstellung integrierter Schaltungen zu reduzieren. Es ist auch in der Lage, schwierige Prozessbedingungen zu handhaben und ist in der Lage, die neuesten Wafer-Technologien unterzubringen, so dass TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 Photoresist-Modell eine ideale Lösung für die Herstellung von komplexen Geräten.
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