Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9285382 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für eine kostengünstige, hochleistungsfähige Oberflächenbehandlung entwickelt wurde. Das System ist ein automatisiertes Werkzeug zum Reinigen, Backen und Entwickeln von auf einem Substrat aufgebrachtem Photolack. Es läuft mit einer Kombination aus Helium, Stickstoff und Sauerstoff und kann Substrate von bis zu 8 Zoll Größe handhaben. TEL ACT 8 besteht aus zwei Hauptteilen: dem Photolackapplikator und der Bildübertragungskammer. Im Photolackapplikator wird Helium verwendet, um einen dünnen Photolackfilm auf das Substrat aufzubringen, während Stickstoff verwendet wird, um den Photolack vor dem Einbrennen in der Backkammer zu stabilisieren. Es folgt ein Hochtemperatur-Backzyklus, der von einem programmierbaren Logikregler (SPS) gesteuert wird. Nachdem das Substrat mit Photolack beschichtet und eingebrannt ist, wird es in die Bildübertragungskammer geschickt. Hier wird eine Photolackschicht mit Licht belichtet, um ein Muster zu erzeugen. Eine Belichtungsquelle wird über der Oberseite des Substrats positioniert und gesteuert, um das gewünschte Muster bereitzustellen. Danach wird das Substrat durch eine Kombination von Luft, Stickstoff und einem Entwickler entwickelt. Schließlich entfernt ein Spülbad überschüssigen Resist. TOKYO ELECTRON ACT 8 kann programmiert werden, um verschiedene Parameter, einschließlich Temperatur, Belichtungsgrad, Prozesszeit und Entwicklerzusammensetzung, automatisch anzupassen. Dies ermöglicht den Einsatz unterschiedlichster Photolackkomponenten auf unterschiedlichen Substraten. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine ausgeklügelte Steuerschnittstelle, mit der es fernbedient und einfach in automatisierte Produktionssysteme integriert werden kann. Abschließend ist TEL ACT 8 eine Photolackmaschine, die auf Präzision und kostengünstige Oberflächenbehandlungen ausgelegt ist. Es ist mit automatisierten Funktionen ausgestattet, die die Einstellung verschiedener Parameter sowie die Fernbedienung des Werkzeugs ermöglichen. Durch den Einsatz von Helium, Stickstoff und Sauerstoff sowie einem Hochtemperatur-Backzyklus macht ACT 8 die Reinigung, das Backen und die Entwicklung von Photoresist mit minimalem Aufwand erreichbar.