Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9312079 zu verkaufen
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ID: 9312079
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2007
(4) Coater / (4) Developer system, 8"
(2) Chemical boxes
(2) SMC Thermo controllers
TEAM KOREA Temperature and humidity controller
AC Power box
Left to right
Wafer and carrier type: Notch
(25) Slots
(4) Uni-cassette loaders
Carrier station:
Type: Normal uni-cassette
(4) Cassette stages
Pick-up cassette
Uni-cassette system
Coater unit (2-1, 2-2, 2-3, 2-4 Module):
(3) Dispense nozzles with temperature controlled line
RDS Pump
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath
Rinse system: 3 Liters (2) buffer tank systems
PR Suck-back valve type: AMC Suck-back valve
Programmable side rinse
Direct drain
Developer unit (3-1, 3-2, 3-3, 3-4 Module):
Nozzle for each unit
2-Stream nozzles for DI rinse
2-Points for back side rinse on each unit
Developer system: 3 Liters (2) buffer tank systems
Developer temperature control system
Direct drain
(2) Adhesion units:
Sealing closed chamber with built-in hot plate
HMDS Tank with float sensor
Interface type: NIKON
High temperature hot plate
(16) Low temp hot plates
(9) Chill Plates (CPL)
(4) Chilling Hot Plate (CHP) process station
(3) Transition Stage (TRS) modules
Transition Chill Plate (TCP) module
Wafer Edge Exposure (WEE) module
(2) Temperature control units
Missing parts:
Main controller
(4) Coater cups (2-1, 2-2, 2-3, 2-4)
(3) Developer cups (3-1, 3-2, 3-3)
Main display panel
CRA X-Axis motor
CSB Add on board
(9) Coater PR pumps (2-1.2-2.2-3)
IRA Y-Axis motor driver
IRA Tweezers
LHP Module cover
Power: AC 208 V, 3 Phase
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist ein fortschrittliches Belichtungsgerät für Photoresist-Anwendungen. Es ist ein lasergesteuertes System, das hohe Auflösung und präzise Kontrolle der Belichtungszeiten verwendet, um Maskendefekte zu reduzieren und die Konsistenz im belichteten Fotoresistbild zu erhöhen. Diese Photolackeinheit besteht aus einer Laserquelle, einer Modulatoreinheit, einer Abtasteinheit, einer Auswerteeinheit und einem Photolackbilddetektor. Die Laserquelle erzeugt die Photonen, mit denen der Photolack belichtet wird. Dies kann vom Typ He-Cd oder Argon-Ion sein. Der Modulator sorgt dafür, dass jeder Laserpuls genau die gleiche Dauer hat, was eine präzise Leistungsdichtesteuerung und eine gleichmäßige 10ns-Belichtung ermöglicht. Die Scanmaschine verwendet eine hochpräzise und starre mechanische Konstruktion, um den Photolack genau zu belichten. Es arbeitet durch Scannen einer XY-Motorstufe mit 1,2 Metern pro Sekunde. Die Auswerteeinheit verwendet einen CCD-Sensor, um die genaue Belichtung des Fotolackbildes zu bestätigen. Der Photoresist-Bilddetektor ermöglicht die ablenkungsunabhängige Messung extrem genauer Resistmuster. Sie kombiniert eine Stufe zur Messung, eine Steuereinheit zur Dateneingabe und eine Anzeigeeinheit zur Signalausgabe. Es kann Positionsfehler so klein wie 0,2 Mikrometer erkennen. TEL ACT 8 eignet sich für den Einsatz in einer Vielzahl von Branchen wie der Halbleiterherstellung. Es ermöglicht Chipherstellern, schnell und präzise Geräte mit verbesserter Auflösung zu produzieren und das Maskenkippen zu eliminieren. Dieses fortschrittliche Werkzeug ist in der Lage, eine Druckgenauigkeit von 0,1 Mikrometer zu erreichen. Es bietet auch eine hervorragende Ressourcennutzung mit seiner Fähigkeit, große Produkte mit hoher Geschwindigkeit zu verarbeiten.
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