Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9352785 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Beschichtung, Ausrichtung und Belichtung von Photoresists für die Halbleiterherstellung. Dieses System bietet eine Kombination aus Hochgeschwindigkeitsbetrieb und außergewöhnlicher Ergebnisreproduzierbarkeit mit einer Flexibilität, so dass Benutzer ihre Photoresist-Nutzung anpassen können, um sie für ihre spezifischen Prozesse zu optimieren. TEL ACT 8 ist mit einem sehr hohen Durchsatz ausgelegt und orientiert sich an seinem zweistufigen robotisierten Scan-Modus, der auf einer kontinuierlichen Hochgeschwindigkeits- und Hochpräzisionskantensteuerung basiert. Dieser schlanke Ansatz ermöglicht die Beschichtung, Ausrichtung und Belichtung von großen Substraten mit Geschwindigkeiten bis zu 1000 mm/sec. Das Gerät verfügt auch über eine fortschrittliche Wärmesteuermaschine, die stabile Dicke und Zusammensetzung Ergebnisse auch in großen Chargenprozessen bietet und für aggressive Betriebsrampen ausgelegt ist. Um einen einheitlichen Temperaturbereich und eine gleichmäßige Leistung zu gewährleisten, ist TOKYO ELECTRON ACT 8 auch mit einem mehrzonigen Umweltkontrollwerkzeug ausgelegt. Diese Eigenschaft ist in der Lage, die Abscheidung und andere Prozesse in einem engen Temperaturbereich zu halten und sicherzustellen, dass die richtige Zusammensetzung und Dicke der Photolackschicht mit jedem Zyklus erreicht wird. ACT 8 Modell verfügt auch über eine fortschrittliche Vakuum-Ausrüstung, die Verunreinigungen zu reduzieren hilft, die Belichtungsgleichförmigkeit zu erhöhen, und bietet eine höhere Präzision in der Bilderzeugung. Das System wird über Computer gesteuert und ist modular konzipiert, um Flexibilität zu bieten und eine effiziente Wartung und Aktualisierung der Einheiten zu gewährleisten. Zusammenfassend ist TOKYO ELECTRON ACT 8 eine fortschrittliche Photolackmaschine, die eine Kombination aus Hochgeschwindigkeitsbetrieb und Ergebnisreproduzierbarkeit bietet. Das Tool wurde entwickelt, um Abscheidung und Exposition innerhalb eines sehr engen Temperaturbereichs zu halten, um Gleichmäßigkeit und Genauigkeit zu gewährleisten, und verfügt über ein modernes Vakuum-Asset, um Kontaminanten zu reduzieren und die Expositionsgleichmäßigkeit zu erhöhen. Das Computersteuerungsmodell wurde modular entwickelt, um die Wartung und Aktualisierung zu erleichtern und bietet eine hohe Benutzeranpassungsfähigkeit, um die Photolackausrüstung für die spezifischen Prozessanforderungen zu optimieren.