Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9401926 zu verkaufen
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ID: 9401926
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
(3) Coater / (3) Developer system, 8"
AC Power box
Wafer flow: Left to right
Controller
THC: ESA-4-D-02
IFB
Coater unit:
2-1, 2-2: (8) Dispense nozzles
2-3: (4) Dispense nozzles
RRC Pump
Developer unit:
E3 Nozzle
TCU:
(7) CLLO Power sources
(8) Pumps
Chemical box 1:
PR Bottle
(8) RRC Pumps
Chemical box 2:
HMDS
Thinner: (2) Tanks auto supply
DEV: (2) Tanks auto supply
Missing parts:
3-1, 3-3: Spin motor driver
IRA Main Y driver, Z driver
WEE Lamp house
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine hochmoderne Photolackausrüstung, die speziell für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen entwickelt wurde. Dieses System verfügt über duale Sensortechnologie, um das Vorhandensein von Photolack in einem Substrat zu erkennen. Es kann auch verwendet werden, um Unregelmäßigkeiten in Musterprozessen innerhalb eines Substrats zu erkennen, so dass es die ideale Wahl für die Forschung ist. Die Doppelsensoren des Geräts bieten eine hervorragende Auflösung mit einer ultrahohen Auflösung von 0,1 bis 7,0 Mikrometern, die Muster für verschiedene Forschungs- und Produktionsanwendungen mustern kann. Zusammen mit ausgezeichneter Präzision ist TEL ACT 8 auch mit Temperatur- und Spannungsreglern ausgestattet, um genaue Ergebnisse zu gewährleisten. Die Sensoren ermöglichen auch die Detektion von Photolack in verschiedenen Tiefen im gesamten Substrat. TOKYO ELECTRON ACT 8 bietet auch eine Vielzahl von Software-Tools, einschließlich elektrischer, mechanischer und optischer Prüfparameter. Es kann Filmabscheidung, Plasmaätzen und viele andere Prozesse simulieren. Darüber hinaus verfügt die Maschine über die Möglichkeit, verschiedene Prozessparameter für zukünftige Referenzen zu speichern, so dass Forscher eine Aufgabe leicht wiederholen oder den Prozess ändern können. Neben seinen primären Funktionen verfügt TEL ACT 8 auch über eine Vielzahl integrierter Steuerperipheriegeräte, wie einen Leistungsmonitor, einen automatischen Dickenregler und eine Vakuumkammer. Diese Eigenschaften machen das Tool zu einem hoch geschätzten Asset von Forschungs- und Entwicklungsexperten gleichermaßen. Insgesamt ist ACT 8 ein zuverlässiges, genaues Photoresist-Asset, das unter Berücksichtigung von Forschungs- und Entwicklungsanwendungen entwickelt wurde. Seine duale Sensortechnologie ermöglicht es dem Anwender, Unregelmäßigkeiten bei Musterprozessen zu erkennen und Prozessparameter für zukünftige Referenzen zu speichern. Mit einer Vielzahl integrierter Steuerperipheriegeräte ermöglicht TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 den Anwendern, verschiedene Prozesse zu simulieren und zu steuern und gleichzeitig wichtige Daten zu speichern. Dies macht es zu einem unschätzbaren Werkzeug für Forschung und Produktion Anwendungen.
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