Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9407748 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine hochmoderne Photoresist-Verarbeitungslösung, die eine Vielzahl von Anforderungen für die Herstellung von mikro-elektro-mechanischen Systemen (MEMS) erfüllt. Das Gerät ist sowohl mit Spinn- als auch Bandprozessen ausgestattet und eignet sich somit für eine Vielzahl von Photoresist-Verarbeitungsanwendungen. Es wurde entwickelt, um überlegene Leistung, hohen Durchsatz und eine hohe Prozessflexibilität zu bieten. TEL ACT 8 ist in der Lage, sowohl lichtempfindliche Resistmuster als auch Strukturen auf Submikronebene zu verarbeiten. Es ist speziell für die Serienfertigung von mehrschichtigen MEMS-Geräten mit typischen Abmessungen im Mikro- und Nanometerbereich konzipiert. Das System wird mit einer hohen Leistungsoberflächenüberzugstationsangebotsverarbeitung einer breiten Reihe von Substratmaterialien mit genauem Oberflächenüberzug bis zu 18 μm dick ausgestattet. TOKYO ELECTRON ACT 8 ist mit einer Vielzahl von Steuerungstechnologien ausgestattet, darunter ein Mehrzonen-Spin-Coater, ein digitaler Tintenstrahldrucker, ein Rolle-zu-Rolle-Waferformer, ein zweidimensionaler Maskenausrichter, ein Nahfeldprojektionsmikroskop und eine integrierte Prozess-Feedback-Schleife. Diese Technologien ermöglichen eine hervorragende Prozessgenauigkeit und Zuverlässigkeit. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON ACT 8 auch in der Lage, Nachbearbeitungsaktivitäten wie Entbonden, Backen und Backen/Kühlen durchzuführen. Die vielseitigen Spin Coater und Wafer-Former-Stationen liefern hervorragende Ergebnisse ohne Gefahr der Beschädigung der Photolackschicht oder des Gerätesubstrats. ACT 8 ist sehr flexibel und benutzerfreundlich. Es verfügt über die Möglichkeit, bis zu 1000 Benutzerrezepte zu speichern, sodass Kunden eine Vielzahl von Prozessänderungen problemlos implementieren können. Die Maschine verfügt auch über eine sehr intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI), die es Anwendern ermöglicht, ihren Weg einfach durch verschiedene Fotolackverarbeitungsschritte zu navigieren. Darüber hinaus reduziert die ausgeklügelte Softwarearchitektur die Komplexität der Abstimmung der Prozessparameter und ermöglicht eine hohe Präzision. Insgesamt bietet das Photoresist-Bearbeitungswerkzeug TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 hohe Leistung, hohen Durchsatz und niedrige Prozesskosten. Es ist eine ideale Lösung für diejenigen, die nach fortschrittlicher Photoresist-Verarbeitungstechnologie für ihre MEMS-Produktionsanforderungen suchen.