Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON ACT #9290877 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON ACT
ID: 9290877
(2) Coater / (2) Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT (TEACT) Photoresist Equipment ist eine Spitzentechnologie zur Strukturierung von Halbleiterscheiben mit hoher Präzision. Das TEACT-System nutzt eine proprietäre tiefe ultraviolette (DUV) Lichtquelle, um photoresistbeschichtete Wafer zu bestrahlen und den Musterungsprozess genau zu steuern. Die Einheit umfasst mehrere Schlüsselkomponenten, darunter eine automatisierte Steuerung (ACU), einen Mustergenerator (PG), eine Strahlungsenergiequelle (RES) und eine Stromversorgung (PS). Die ACU ist die Leitstelle für die TEACT-Maschine, mit der Anwender jeden Aspekt des Wafer-Musterprozesses steuern können. Die ACU kommuniziert mit dem PG, um das Muster zu erzeugen und zu steuern, das auf den Wafer angewendet wird. Die PG verwendet ein Vektorformat für die Formatmusterung, wodurch komplizierte Muster präzise angewendet werden können. Das RES ist die im TEACT-Tool verwendete DUV-Lichtquelle. Diese hochmoderne Lichtquelle erzeugt kurzwellige Strahlung im Bereich von 193nm bis 248nm, was eine äußerst präzise Strukturierung ermöglicht. Die Quelle kann automatisiert werden und ermöglicht die großflächige Herstellung von perfekt gemusterten Schichten auf Wafern. Das PS versorgt das RES mit Strom und steuert die Energiemenge, die auf die Photolackschichten auf den Wafern aufgebracht wird. Dies trägt dazu bei, dass der Photolack gleichmäßig und gleichmäßig belichtet wird. Das TEACT-Asset bietet Anwendern hochmoderne Präzisionsmuster-Funktionen. Es ist automatisierte Steuerung ermöglicht die Herstellung von perfekt strukturierten Schichten auf Wafern, so dass es die ideale Lösung für Halbleiter-Wafer-Musterung. Das DUV RES der nächsten Generation des Modells fördert die gleichmäßige Belichtung der Photolackschichten, während die anpassbare ACU-PG-Schnittstelle es Benutzern ermöglicht, jeden Aspekt des Musterprozesses zu steuern. Mit TEL ACT-Geräten erhalten Anwender unabhängig von der Anwendung außergewöhnliche Ergebnisse.
Es liegen noch keine Bewertungen vor