Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CL1300 #293607974 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CL1300 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die in einer Vielzahl von Anwendungen verwendet wird, einschließlich Halbleiter und Dünnfilm-Abscheidung/Etch, LED-Herstellung und Surface Mount Technology. Dieses System ist mit einer High-End-optischen Abbildungsstufe ausgestattet, die eine präzise Fokus- und Ausrichtungssteuerung ermöglicht. Diese ist mit einer 6-Zonen-Plattform gekoppelt, die eine fortschrittliche Temperaturgleichmäßigkeit und Kontrolle bietet. TEL CL1300 bietet überlegene Empfindlichkeit und Auflösung und ermöglicht es, Funktionen bis zu 0,1 Mikron zu erkennen und zu verarbeiten. Unter Verwendung des erweiterten UV-Belichtungskopfes des Geräts können Benutzer eine Linienkanten-/Breitenkontrolle von 0,5 Mikron oder besser erreichen. Es verwendet auch eine Vielzahl von fortschrittlichen Richtungs-Belichtungstechniken, wie off-axis-direktionale und off-axis-axiale Belichtung. Die Maschine ist für effiziente Produktionsprozesse ausgelegt. Es kann Fotoresist-Rollenmaterial aus drei verschiedenen Quellen gleichzeitig speisen, und jede Quelle kann ihre eigenen Belichtungseinstellungen haben. Darüber hinaus ermöglichen eine Reihe von Alarmen, wie Temperaturwut, chemische Kontamination und Stromausfall, eine schnelle und einfache Fehlerbehebung. TOKYO ELECTRON CL1300 ist auch für das chemische Management gebaut. Es umfasst präzise Dosierfunktionen sowie ein umfassendes Rezept-Management-Tool, mit dem Benutzer intuitiv Decke Resist verwalten, Belichtungsresist und Post-Development Resist. Darüber hinaus können chemische Behälter durch eine Reihe von Optionen wie Druck, chemische Konzentrationen und Temperatur überwacht werden. Schließlich bietet die Anlage eine breite Palette von Optionen, wie integrierte Lader, Sortierer und Schalen, sowie automatisierte Qualitätskontrollwerkzeuge, wie ein fortschrittliches optisches Inspektionsmodell (AOIS). Abschließend ist CL1300 eine leistungsfähige und kostengünstige Photolackausrüstung, die eine breite Palette von Funktionen und Funktionen für eine Vielzahl von Anwendungen bietet.