Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CL1300 #293607976 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CL1300 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für hohe Genauigkeit, geringen Overspray und maximalen Durchsatz entwickelt wurde. TEL CL1300 enthält eine Reihe von Merkmalen, die es ermöglichen, in einer Vielzahl von Halbleiter-, MEM- und Hybridherstellungsanwendungen verwendet zu werden. Das System verfügt über einen großflächigen Prozessor, der Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 400 mm handhaben kann, und verfügbare Abmessungslängen für Substrate mit einer Größe von bis zu vier Zoll. TOKYO ELECTRON CL1300 hat die Fähigkeit, Substrate mit bis zu 5 Mikronik Auflösung zu verarbeiten, so dass es ideal für eine breite Palette von Herstellungs- und Verarbeitungstechniken. Ferner weist diese Photolackeinheit ein Kammervolumen von 101 Litern oder mehr auf, wodurch große und komplexe Substrate in einer einzigen Einstellung verarbeitet werden können. Die Fotoresist-Maschine ist mit mehreren Sicherheits- und Steuerungsmerkmalen ausgestattet, was sie zu einem zuverlässigen und zuverlässigen Werkzeug für die Herstellung macht. CL1300 beinhaltet eine SPS-Steuereinrichtung mit Touchscreen-Bedienfeld, um eine genaue und wiederholbare Prozesssteuerung bereitzustellen. Es enthält auch einen Bewegungsmelder, um sicherzustellen, dass das Substrat während der Verarbeitung an Ort und Stelle bleibt; antistatische Schuhe für die Bedienersicherheit; und Sicherheitshemmnisse, um zu verhindern, dass Verunreinigungen in das Modell gelangen. TEL/TOKYO ELECTRON CL1300 ist in der Lage, Spin-Coating, pneumatische und Jet-Spray-Beschichtung und Verdampfung und lasergestützte Photoresist-Beschichtung. Diese Photoresist-Ausrüstung verwendet ein proprietäres Softwaresystem, um Parameter während des Herstellungsprozesses zu überwachen und anzupassen, was eine effizientere und berechenbarere Photoresist-Strukturierung ermöglicht. Darüber hinaus bietet TEL CL1300 auch Mehrzonen-Heiz- und Kühlsysteme, um eine Reihe von Photolackmustern zu ermöglichen. In Bezug auf die Wartung erfordert TOKYO ELECTRON CL1300 eine minimale Wartung, da es mit einer Reihe von Funktionen konzipiert ist, um zu verhindern, dass Fotolacke abbauen. Dies umfasst eine fortgeschrittene Filtrationseinheit, um das Vorhandensein von Fremdpartikeln und Verunreinigungen zu reduzieren; einen chemischen Aktivitätsscanner, um sicherzustellen, dass die Photomaske frei von Disqualifikation und Kontamination ist; und eine Temperaturregelmaschine, um das thermische Zyklen zu minimieren und den Photoresistabbau zu minimieren. Insgesamt ist CL1300 Photoresist-Tool eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Herstellungs- und Verarbeitungsanforderungen und bietet eine hohe Genauigkeit, einen geringen Übersprühwert, einen maximalen Durchsatz sowie eine Reihe von Sicherheits- und Steuerungsfunktionen. Es ist eine ideale Lösung für jede Labor- oder Industrieanwendung, da es in der Lage ist, große Substrate mit einer Auflösung von bis zu 5 Mikrometern zu verarbeiten und die für den Erfolg notwendige Genauigkeit und Zuverlässigkeit bietet.